[实用新型]半导体芯片测试用弹簧探针(1)有效
申请号: | 200920186319.2 | 申请日: | 2009-07-09 |
公开(公告)号: | CN201514422U | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 周家春 | 申请(专利权)人: | 安拓锐高新测试技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 | 代理人: | 孙莘隆 |
地址: | 215021 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 芯片 测试 弹簧 探针 | ||
【权利要求书】:
1.半导体芯片测试用弹簧探针,包括有动针(1),针体(2),弹簧(3)和针架(4,5),动针(1)和弹簧(3)装入针体(2)内并装入针架(4),(5)的针腔内,其特征在于:动针只有上动针(1),上动针(1)上设有有预压台阶(7),并与上针架(4)内针腔斜面角度一致。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片测试用弹簧探针,其特征在于:上动针(1)上设有有预压台阶(7)与上针架(4)的内针腔斜面角度相同,均为120°~165°。
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