[实用新型]用于扩散炉的防爆源瓶无效
| 申请号： | 200920204161.7 | 申请日： | 2009-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN201487540U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/16 | 分类号： | F17C1/16;F17C1/08 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 扩散 防爆 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于扩散炉的防爆源瓶，包括瓶体(1)及设置在瓶体上的管体(3)，其特征在于：所述瓶体(1)为PTFE或PFA材质，在瓶体(1)上设有向外凸起的加强筋(2)。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于：所述加强筋(2)包括环绕瓶体(1)的横向筋条及纵向筋条。
3.根据权利要求2所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于：所述加强筋(2)为PTFE或PFA材质。
4.根据权利要求3所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于：所述管体(3)为PTFE或PFA材质。
5.根据权利要求1至4任一项所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于：所述瓶体(1)为封闭的圆柱形体，管体(3)配合在圆柱形体顶面，加强筋(2)设置在圆柱形体的外圆柱面上。
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