[实用新型]用于扩散炉的防爆源瓶无效

专利信息
申请号: 200920204161.7 申请日: 2009-08-28
公开(公告)号: CN201487540U 公开(公告)日: 2010-05-26
发明(设计)人: 伍波;张勇;李果山 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
主分类号: F17C1/16 分类号: F17C1/16;F17C1/08
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 胡朝阳;孙洁敏
地址: 518103 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 用于 扩散 防爆
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种源瓶,尤其涉及一种用于扩散炉的防爆源瓶。

背景技术

扩散炉是一种半导体工艺设备,主要用于掺杂工艺,特别在晶体硅太阳能电池生产中,扩散炉是唯一的掺杂设备,是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键设备。

现在的扩散炉大多做磷扩散,用石英瓶做源瓶装存液态的POCl3,把N2通入到石英源瓶中,鼓泡携带POCl3进入工艺管中,高温状态裂变产生磷。为了很好地控制N2携带POCl3的量,通常把石英源瓶置放在恒温水槽中。这种方法存在着严重的安全隐患。因为石英器件是一种脆性材料,在制造过程中易产生应力集中,在搬运过程中,若有碰撞、磕碰等易产生隐裂。在使用时,带压力的气体通入瓶中,瓶外温度巨变,这些应力集中和隐裂极易造成石英瓶破裂。若石英源瓶破裂后,液态的POCl3就会流入水中,与水发生剧烈化学反应:POCl3+3H2O→H3PO4+3HCl。这种反应生成物以雾状喷发,迅速弥漫在四周,危险性较大。生成的雾状磷酸和盐酸是有毒物品,对呼吸道有刺激,眼睛接触会致灼伤,造成永久性损害,皮肤接触可致严重灼伤。并且磷酸、盐酸是一种腐蚀性物质,对人体同样有害,对设备、仪器、厂房设施产生腐蚀。

发明内容

本实用新型为了解决现有石英源瓶易破裂造成安全隐患的缺陷,提供一种用于扩散炉的防爆源瓶,它通过用柔性的高分子材料作为源瓶的制作材料,有效提高源瓶的可靠性。

为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:用于扩散炉的防爆源瓶,包括瓶体及设置在瓶体上的管体;所述瓶体为聚四氟乙烯(PTFE)或可熔性聚四氟乙烯(PFA)材质,在瓶体上设有向外凸起的加强筋。

所述加强筋包括环绕瓶体的横向筋条及纵向筋条。

所述加强筋为PTFE或PFA材质。

所述管体为PTFE或PFA材质。

所述瓶体为封闭的圆柱形体,管体配合在圆柱形体顶面,加强筋设置在圆柱形体的外圆柱面上。

本实用新型通过改换源瓶的材料,将脆性的石英材料换成柔性的PTFE或PFA材料,耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化,具有一定的机械强度,做成密封瓶后,无应力、无隐裂、不怕碰撞;同时在瓶身设置了增加强度的加强筋,就能够很大程度上消除破裂隐患,在装载、使用源瓶时大大减少爆瓶的危险。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明:

图1为本实用新型剖视结构示意图。

具体实施方式

如图1所示一种用于扩散炉的防爆源瓶,包括封闭的空心圆柱形瓶体1及设置在瓶体上的管体3。在圆柱形瓶体1的外圆柱面上设有向外凸起的加强筋2,加强筋2包括横向筋条及纵向筋条,横向筋条环绕瓶体1。所述瓶体1、加强筋2及管体3均为PTFE或PFA材质。所述管体3穿透并固定于圆柱形瓶体1的顶面。

前述仅为本实用新型的优选实施例,所述瓶体1也可以制成其他适宜形状;加强筋2也可以设置在瓶体1内部或采用其它结构、布局;管体3可单独采用其它材质(参照图1)。

所述的PTFE(聚四氟乙烯,俗称塑料王)是含氟塑料中用途最广的品种,具有优异的综合性能:耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化、高绝缘、高润滑、不粘附、无毒害。广泛用于航空、化工、电子、桥梁、纺织、机械、造纸、陶瓷等行业。用作电绝缘件、密封衬垫、防粘、自润滑零件等,特别常用作腐蚀性液体和气体的输送管、容器。PFA(四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚共聚物,俗称可熔性聚四氟乙烯)保持了PTFE的优异的化学稳定性,耐高、低温性能,介电性能。自润滑性、抗粘性、不燃性和耐老化性能。其突出的特点是耐折、耐开裂性能好,高温时的机械强度是PTFE的1.6倍以上。常用于各种防腐、密封、减磨、绝缘零件等,特别常用作腐蚀性液体和气体的输送管、容器。

使用这种源瓶的扩散炉,在装载、使用源瓶时就会大大减少爆瓶的危险。PTFE或PFA材料做的源瓶,由于是柔性材料,并且可以耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化,具有一定的机械强度,做成密封瓶后,无应力,无隐裂,不怕碰撞,并且有加强筋增加强度,就能够很大程度上消除危害隐患。

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