[实用新型]扩散炉的自动炉门盖有效
申请号: | 200920205303.1 | 申请日: | 2009-09-25 |
公开(公告)号: | CN201532119U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 伍波;张勇;李果山 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;F15B15/00 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
地址: | 518103 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 自动 炉门 | ||
1.一种扩散炉的自动炉门盖,包括一圆管状炉膛(13),其特征在于:所述炉膛(13)的炉口端连接有一炉门柜(12),炉门柜(12)内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖(1);所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。
2.根据权利要求1所述的扩散炉的自动炉门盖,其特征在于:所述炉门盖平面偏转驱动机构包括连接在炉门盖(1)圆心处的一个万向轴承(2),万向轴承(2)与一曲板(3)端部连接,曲板另一端通过转轴(6)与一转轴座铰接固定,在曲板(3)中部还设有与一连杆(5)铰接的连接轴(4),连杆(5)另一端与偏转转运动驱动气缸(9)相连;转轴座端部及偏转转运动驱动气缸(9)均固定在一底板(10)上;所述炉门盖轴向运动驱动机构包括一对平行的圆形直线导轨副(8),两直线导轨副通过端部的两个安装底座(7)固定在炉门柜(12)上,所述底板(10)活套在两直线导轨副(8)上,两直线导轨副(8)中间还固定有一直线驱动气缸(11),气缸的伸缩轴连接底板(10)。
3.根据权利要求2所述的扩散炉的自动炉门盖,其特征在于:所述转轴座为平行于连杆(5)的一长条状平板。
4.根据权利要求2所述的扩散炉的自动炉门盖,其特征在于:所述偏转转运动驱动气缸(9)为直线移动型气缸。
5.根据权利要求2所述的扩散炉的自动炉门盖,其特征在于:所述直线导轨副(8)及直线驱动气缸(11)的伸缩轴均与炉膛(13)的轴心平行,连杆(5)与炉膛(13)的轴心垂直。
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