[实用新型]扩散炉的自动炉门盖

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，尤其涉及一种扩散炉的自动炉门盖。

背景技术

扩散炉是一种半导体工艺设备，通常包括圆管状炉膛，炉内空腔即为炉管、开口处为炉口。其主要用于掺杂工艺，特别在晶体硅太阳能电池生产中，扩散炉是唯一的掺杂设备，是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键设备。扩散工艺的要求是反应管内温度稳定，气流稳定，但是传统的扩散炉，由于没有实施闭管技术，外部环境会影响到炉内的温度和气氛。所以，在设备的使用过程中存在着一些不足，会影响到扩散工艺质量。现有技术存在以下缺陷：

1、现有扩散炉，炉内温度不稳定，受外部影响大。

2、现有扩散炉，炉内气场不稳定，受外部影响大。

3、现有扩散炉，气体、源物质消耗大，加热功率大，不利于节能、降耗，增加了使用成本。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种扩散炉的自动炉门盖，通过配备自动炉门盖在扩散炉中应用闭管、软着陆的技术，提升温控精度、保证气场分布，并减少能耗。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种扩散炉的自动炉门盖，包括一圆管状炉膛；所述炉膛的炉口端连接有一炉门柜，炉门柜内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。

所述炉门盖平面偏转驱动机构包括连接在炉门盖圆心处的一个万向轴承，万向轴承与一曲板端部连接，曲板另一端通过转轴与一转轴座铰接固定，在曲板中部还设有与一连杆铰接的连接轴，连杆另一端与偏转转运动驱动气缸相连；转轴座端部及偏转转运动驱动气缸均固定在一底板上；所述炉门盖轴向运动驱动机构包括一对平行的圆形直线导轨副，两直线导轨副通过端部的两个安装底座固定在炉门柜上，所述底板活套在两直线导轨副上，两直线导轨副中间还固定有一直线驱动气缸，气缸的伸缩轴连接底板。

所述转轴座为平行于连杆的一长条状平板。

所述偏转转运动驱动气缸为直线移动型气缸。直线驱动气缸伸缩时，将带动炉门盖平面偏转驱动机构做平行于炉膛轴心向的直线运动。

所述直线导轨副及直线驱动气缸的伸缩轴均与炉膛的轴心平行，连杆与炉膛的轴心垂直。

本实用新型通过由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成移动装置控制与炉口配合炉门盖，使用相关技术和装置的扩散炉，可以实现闭管扩散，改善炉内温控环境和气场分布；使用相关技术和装置，可以实现软着陆，减少SiC浆对温控和气场的影响，减少SiC浆带进的杂质引起的扩散，减少SiC浆的清洗次数，减少了能耗；并且碰到突然停电等意外情况，移动装置停止动作，炉门不会损坏物品。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：

图1为本实用新型移动装置及炉门盖的结构示意图；

图2为本实用新型在使用封闭状态的结构示意图；

图3为本实用新型在使用打开状态的结构示意图

具体实施方式