[实用新型]手动测试基座有效
申请号: | 200920207711.0 | 申请日: | 2009-08-11 |
公开(公告)号: | CN201532942U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 冯军宏;刘云海 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 手动 测试 基座 | ||
技术领域
本实用新型半导体芯片测试领域,更具体的说,特别涉及一种手动测试基座。
背景技术
在半导体制造领域,实验工程应用的芯片测试基座(socket)要求有上下芯片简单,耐用的特点。特别是在实验工程型的最终测试(FT,Final Test)中,一款测试基座的好坏,直接影响到测试的结果与测试速度。一般来说测试基座的结构主要有两部分组成:
一、管脚接触针(Pin Contact Tip)的材料和构造,该部分业界有普遍的标准,主要是能满足测试的频率和保证能够和芯片接触良好。
二、芯片压紧机械构造,该机械构造要求测试基座能够上下芯片操作简单,使用中能够确保使芯片与管脚接触针接触良好,并且要求能够有很高的可靠性。
应用于实验工程型的手动FT(Final Test)测试中的测试基座,不仅要求其机械结构能够满足方便快速的手动上下测试芯片,而且要求通用性比较强。
特别对于一些大尺寸(如31mmx31mm)的BGA(Ball Grid Array)芯片,由于其管脚多尺寸大的特点,要满足上述所有条件,其机械结构设计更加的困难。
而且,目前市场用于大尺寸手动最终测试的测试基座很少,如果用稳定性(BI,Burn-In)的测试基座代替,其普遍大尺寸的设计都是滑页扣紧或弹簧扣型,压盖材料基本都是塑料。不适合高频率的使用,而且通用性不是很强,如,不能适应同种但不同厚度的芯片,但这样要求在实验工程FT应用中是必备的,如覆晶封装(CPI,Chip Package interaction)的测试,就可能会有几种相同外形长宽度、接触针尺寸相同,但不同厚度的产品。
实用新型内容
根据本实用新型的一个方面,解决了现有技术中,不能测量不同厚度不同大小的芯片的问题。
根据本实用新型的另一方面,解决了现有技术中,手动测试基座不耐用的问题,以及手动测试基座的某组成部分失灵不能更换的问题。
本发明提供一种手动测试基座,包括:上部分和下部分,所述上部分包括下压块、上压块、操作盖,以及连接所述下压块和所述操作盖的固定螺栓,所述操作盖的螺杆穿过所述上压块,所述下部分包括底座,所述底座上具有管脚接触针,其特征在于,所述上部分和所述下部分通过定位卡销连接。
优选的,所述操作盖的螺杆上具有外螺纹,所述上压块具有内螺纹孔,所述操作盖的外螺纹和所述上压块的内螺纹孔相适配。
优选的,所述操作盖的螺杆位于所述操作盖的几何中心。
优选的,所述上压块的内螺纹孔位于所述上压块的几何中心。
优选的,所述固定螺栓包括固定螺栓帽和固定螺栓杆,所述固定螺栓帽的截面大于所述固定螺栓杆的截面。
优选的,所述固定螺栓的侧面呈倒T字形。
优选的,所述下压块上具有第二通孔和第三通孔,所述第二通孔和所述第三通孔上下相连通,所述第三通孔和所述固定螺栓帽相适配,所述第二通孔的内螺纹和所述固定螺栓杆的螺纹相适配。
优选的,所述操作盖的螺杆上具有内螺纹,所述螺杆的内螺纹和所述固定螺栓的螺纹相适配。
优选的,所述固定卡销包括卡销帽和细部。
优选的,所述上压块具有滑孔,所述滑空包括大头孔和小头孔,所述大头孔对应所述固定卡销帽、所述小头孔对应所述细部。
优选的,所述下压块具有第一通孔,所述第一通孔和所述固定卡销帽相适配,能使所述固定卡销帽通过。
优选的,所述固定卡销固定于所述底座上。
优选的,所述固定卡销均匀分布于所述底座周围。
优选的,所述底座上具有凹槽。
优选的,所述凹槽的形状为矩形或正方形。
优选的,所述操作盖的顶面形状为中心对称图形。
优选的,所述手动测试基座的各组成部件的材料为金属材料。
本实用新型的手动测试基座可拆卸且耐用,而且能够测量不同厚度的芯片和不同大小的芯片,并且能够保证芯片管脚和底座上的管脚接触针良好接触。
附图说明
图1为本实用新型的手动测试基座的整体结构示意图。
图2为手动测试基座的上部分结构示意图。
图3为所述操作盖的结构示意图。
图4a和图4b为所述上压块的俯视图与侧面图的对应视图。
图5a和图5b为所述下滑块的俯视图与侧面图的对应视图。
图6a和图6b为所述底座的俯视图与测试图的对应视图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂,以下结合说明书附图对本实用新型的内容作进一步说明。
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