[实用新型]研磨垫修整器无效
申请号: | 200920208102.7 | 申请日: | 2009-08-19 |
公开(公告)号: | CN201471296U | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 赵宏 | 申请(专利权)人: | 赵宏 |
主分类号: | B24B53/14 | 分类号: | B24B53/14;B24B37/04;H01L21/02 |
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地址: | 528000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 修整 | ||
1.一种研磨垫修整器,结构上包括本体,旋转体,传动部件,活塞体,传动碟片,其特征在于,本体内开有第一腔室,旋转体置于第一腔室内,且旋转体内开有第二腔室,传动部件固定在旋转体上方,并用封闭第二腔室一侧,传动部件由皮带轮、导气管和旋转轴组成,旋转轴上设置有一轴向贯穿的导气孔,导气孔与导气管相通连接,活塞体与旋转体之间设有密封垫,活塞体封闭第二腔室另一侧,活塞体与旋转轴之间以及旋转体与活塞体之间形成封闭气室,活塞体的自由端固定有传动碟片。
2.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的导气管通过阀门连接有空气压缩机和真空泵。
3.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的旋转体,其上套设有轴承固定环,轴承固定环的上、下方分别套置有轴承,且轴承及轴承固定环位于第一腔室内。
4.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的活塞体,其上套有活塞定位环,活塞定位环固定在所述旋转体的下端面。
5.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的旋转轴上套设一耐磨环。
6.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述旋转轴与所述活塞体之间用键连接。
7.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述活塞体与所述旋转体之间套设一气密环。
8.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述活塞体上套设一感应磁环。
9.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的本体上设置一磁性感应器。
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