[实用新型]研磨垫修整器无效

专利信息
申请号: 200920208102.7 申请日: 2009-08-19
公开(公告)号: CN201471296U 公开(公告)日: 2010-05-19
发明(设计)人: 赵宏 申请(专利权)人: 赵宏
主分类号: B24B53/14 分类号: B24B53/14;B24B37/04;H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 研磨 修整
【权利要求书】:

1.一种研磨垫修整器,结构上包括本体,旋转体,传动部件,活塞体,传动碟片,其特征在于,本体内开有第一腔室,旋转体置于第一腔室内,且旋转体内开有第二腔室,传动部件固定在旋转体上方,并用封闭第二腔室一侧,传动部件由皮带轮、导气管和旋转轴组成,旋转轴上设置有一轴向贯穿的导气孔,导气孔与导气管相通连接,活塞体与旋转体之间设有密封垫,活塞体封闭第二腔室另一侧,活塞体与旋转轴之间以及旋转体与活塞体之间形成封闭气室,活塞体的自由端固定有传动碟片。

2.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的导气管通过阀门连接有空气压缩机和真空泵。

3.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的旋转体,其上套设有轴承固定环,轴承固定环的上、下方分别套置有轴承,且轴承及轴承固定环位于第一腔室内。

4.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的活塞体,其上套有活塞定位环,活塞定位环固定在所述旋转体的下端面。

5.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的旋转轴上套设一耐磨环。

6.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述旋转轴与所述活塞体之间用键连接。

7.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述活塞体与所述旋转体之间套设一气密环。

8.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述活塞体上套设一感应磁环。

9.根据权利要求1所述的研磨垫修整器,其特征在于,所述的本体上设置一磁性感应器。

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