[实用新型]真空设备样品交接辅助机械手

权利要求书

1.一种真空设备样品交接辅助机械手，包括法兰、固定于法兰一侧的波纹管、一端用于支撑磁力传递内杆，另一端穿过法兰和波纹管的拨杆以及设于拨杆穿出端的手柄，其特征在于：

该机械手还包括用于调节和锁定拨杆的调节机构，该调节机构设于波纹管与手柄之间，并且与法兰相固定。

2.如权利要求1所述的真空设备样品交接辅助机械手，其特征在于：

所述的调节机构包括Z向调节部件，Z向调节部件包括纵向支架和调节螺栓，纵向支架上纵向开有导槽，所述的拨杆穿过导槽并与设于纵向支架一侧的手柄相连；调节螺栓一端插入导槽内，并与拨杆相抵。

3.如权利要求2所述的真空设备样品交接辅助机械手，其特征在于：

所述的调节机构还包括Y向调节部件，Y向调节部件包括导向光杆、横向支架和丝杆，导向光杆一端固定在法兰上，另一端横向穿过纵向支架；横向支架一端也固定在法兰上；丝杆一端依次横向穿过横向支架以及纵向支架，另一端连接设有旋转驱动部件。

4.如权利要求3所述的真空设备样品交接辅助机械手，其特征在于：

所述的纵向支架和横向支架上还分别设有纵向和横向标尺。

5.如权利要求1所述的真空设备样品交接辅助机械手，其特征在于：

所述的拨杆的支撑端还设有能够与磁力传递内杆滚动接触的轴承。