[实用新型]真空设备样品交接辅助机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械手，更具体地说，涉及一种真空设备样品交接辅助机械手。

背景技术

目前，采用磁力传递机构交接样品的真空设备，为解决长距离传递或者磁力传递内杆自身以及样品较重，而造成的挠度过大引起传递偏离水平的问题，一般均配备有机械手，起到辅助样品传递交接的作用。请参阅图1所示，通常此类机械手10一般包括法兰11、固定于法兰11一侧的波纹管12、一端用于支撑样品传递机构的磁力传递内杆1，另一端穿过法兰11和波纹管12的拨杆13以及设于拨杆13穿出端并与波纹管12连成一体的手柄14。该机械手10在实际使用过程中，存在以下缺点：

首先，由于磁力传递内杆1为典型的悬臂梁，当其沿X轴向方向移动传递的距离较大时，磁力传递内杆1外伸过长会造成偏离水平的挠度过大，这样，即使靠波纹管12支撑调节也会因为无法即时锁定以及无相关的刻度显示，以至于无法对磁力传递内杆1的前端夹持手产生的高低偏差(Z轴方向)进行精确调节和锁定，最终不利于样品的长距离快速准确交接，而且当传递较重的样品时，由于样品重量也容易使磁力传递内杆1产生偏离水平的挠度，从而也无法实现在Z轴方向上的精确定位；其次，由于无法调节磁力传递内杆1在水平面内的前后摆幅(Y轴方向)，容易造成夹持手即样品中心不在各工位形成的直线上，从而增加了试样交接的难度；再次，由于磁力传递内杆1与拨杆13之间为滑动摩擦，不但增加了交接阻力，而且还加速了磁力传递内杆1的磨损；另外，该机械手还存在操作不便，需要两人密切配合才能操作，影响了作业效率等缺点。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述缺点，本实用新型的目的是提供一种真空设备样品交接辅助机械手，该机械手能够提高对真空设备的磁力传递机构进行精确调节和补偿。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

该真空设备样品交接辅助机械手，包括法兰、固定于法兰一侧的波纹管、一端用于支撑磁力传递内杆，另一端穿过法兰和波纹管的拨杆以及设于拨杆穿出端的手柄，该机械手还包括用于调节和锁定拨杆的调节机构，该调节机构设于波纹管与手柄之间，并且与法兰相固定。

所述的调节机构包括Z向调节部件，Z向调节部件包括纵向支架和调节螺栓，纵向支架上纵向开有导槽，所述的拨杆穿过导槽并与设于纵向支架一侧的手柄相连；调节螺栓一端插入导槽内，并与拨杆相抵。

所述的调节机构还包括Y向调节部件，Y向调节部件包括导向光杆、横向支架和丝杆，导向光杆一端固定在法兰上，另一端横向穿过纵向支架；横向支架一端也固定在法兰上；丝杆一端依次横向穿过横向支架以及纵向支架，另一端连接设有旋转驱动部件。

所述的纵向支架和横向支架上还分别设有纵向和横向标尺。

所述的拨杆的支撑端还设有能够与磁力传递内杆滚动接触的轴承。

在上述技术方案中，本实用新型的真空设备样品交接辅助机械手，包括法兰、波纹管、拨杆以及手柄，该机械手还包括用于调节和锁定拨杆的调节机构，该调节机构设于波纹管与手柄之间，并且与法兰相固定。通过调节机构能够对拨杆进行Z轴以及Y轴方向上的调节，并通过螺纹即时自锁，不但能够精确、有效的补偿磁力传递内杆在Z轴和Y轴方向上的偏差，而且还能够方便单人操作，提高作业效率。另外，通过增设轴承实现与磁力传递内杆的滚动摩擦，降低了拨杆阻力以及磁力传递内杆的磨损。

附图说明

图1是传统机械手的结构示意图；

图2是本实用新型的真空设备样品交接辅助机械手的结构示意图；

图3是图2中纵向支架的B向示意图；

图4是图2中的A部放大示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例进一步说明本实用新型的技术方案。