[实用新型]冷却水的热量回收装置有效
申请号: | 200920211676.X | 申请日: | 2009-10-30 |
公开(公告)号: | CN201589458U | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 徐雪峰;陈玉峰;周金锋 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F24J3/00 | 分类号: | F24J3/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却水 热量 回收 装置 | ||
1.一种冷却水的热量回收装置,所述冷却水从冷却塔经第一传输泵流入制冷机的冷却水入口,吸收制冷机的废热后从制冷机的冷却水出口流回到冷却塔,其特征在于,所述热量回收装置包括热交换器、储水罐和管道系统,所述热交换器上设有放热通路入口、放热通路出口、吸热通路入口和吸热通路出口,所述放热通路入口通过放热通路输入管接入所述制冷机和所述冷却塔之间的管道中,所述放热通路出口通过放热通路输出管接入所述冷却塔和第一传输泵之间的管道中;所述储水罐的输出口经第二传输泵与所述吸热通路入口连接,所述吸热通路出口与所述储水罐的输入口连接。
2.如权利要求1所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述放热通路的输入管上设有第一控制阀,所述放热通路的输出管上设有第二控制阀,所述第二传输泵与所述吸热通路入口之间的管段设有第三控制阀,所述吸热通路出口与所述储水罐之间的管段设有第四控制阀。
3.如权利要求2所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述第二传输泵和所述第三控制阀之间的管段通过一具有第五控制阀的管路与用户使用端连接。
4.如权利要求3所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述第四控制阀和所述储水罐之间的管段中引出一路具有第六控制阀的管路,所述具有第六控制阀的管路接入所述第五控制阀和所述用户使用端之间的管段,引出点到所述储水罐之间的管段上设有第七控制阀。
5.如权利要求4所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述第六控制阀和第七控制阀是电磁阀,所述第六控制阀和第七控制阀联动,当一个打开时,另一个关闭。
6.如权利要求4或5所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述第七控制阀的两端设有一条旁通管,所述旁通管上设有旁通阀。
7.如权利要求1所述的冷却水的热量回收装置,其特征在于,所述储水罐是超纯水的预处理水的储水罐。
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