[实用新型]冷却水的热量回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种热量回收装置，尤其涉及一种冷却水的热量回收装置。

背景技术

现有半导体工厂内中有很多生产线上的加工设备需要散热，通常使用制冷机制造的冷冻水(大约5摄氏度左右，以下单位同)来散热。而制冷机在制冷的过程中会产生很多的废热，这些废热通过一路冷却水带走。请参阅图1，冷却塔2中的冷却水(大约18度左右)经第一传输泵3压入制冷机1的冷却水入口，吸收该制冷机1在制冷过程中产生的废热后温度升高，该升温了的冷却水(大约23度)从制冷机1的冷却水出口流出，然后流回冷却塔2。所述冷却塔2的作用是将携带废热的冷却水在塔内与空气进行热交换，使废热传输给空气并散入大气。现行的方法没有将制冷机的废热有效利用起来。

与此同时，尤其是在北方的冬天，在半导体工厂内通常由10000吨的超纯水的预处理水预处理水的储水罐向各个半导体制程供应超纯水的预处理水。该储水罐在冬天水温大概在10度左右，而各半导体制程所需的超纯水的预处理水温度大概需要20度左右。将这些10度左右的超纯水的预处理水加热到20度左右，现行的方法是通过蒸汽来将超纯水的预处理水从10度左右加热到20左右。而蒸汽的使用需要耗费很多能源，如煤、电等等。

然而，能源危机是各国面临的一个重要问题。如何有效节约能源，不但是一个企业，同时也是国家非常重视的一个问题。因此，如何将工厂内的资源合理利用，以达到节约能源的目的，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种冷却水的热量回收装置，可以将制冷机在制冷过程中产生的废热通过冷却水给需要加热且温度适宜的储水罐，从而达到合理利用资源、节约能源的目的。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种冷却水的热量回收装置，所述冷却水从冷却塔经第一传输泵流入制冷机的冷却水入口，吸收制冷机的废热后从制冷机的冷却水出口流回到冷却塔，所述热量回收装置包括热交换器、储水罐和管道系统，所述热交换器上设有放热通路入口、放热通路出口、吸热通路入口和吸热通路出口，所述放热通路入口通过放热通路输入管接入所述制冷机和所述冷却塔之间的管道中，所述放热通路出口通过放热通路输出管接入所述冷却塔和第一传输泵之间的管道中；所述储水罐的输出口经第二传输泵与所述吸热通路入口连接，所述吸热通路出口与所述储水罐的输入口连接。

所述放热通路的输入管上设有第一控制阀，所述放热通路的输出管上设有第二控制阀，所述第二传输泵与所述吸热通路入口之间的管段设有第三控制阀，所述吸热通路出口与所述储水罐之间的管段设有第四控制阀。

所述第二传输泵和所述第三控制阀之间的管段通过一具有第五控制阀的管路与用户使用端连接。

所述第四控制阀和所述储水罐之间的管段中引出一路具有第六控制阀的管路，所述具有第六控制阀的管路接入所述第五控制阀和所述用户使用端之间的管段，引出点到所述储水罐之间的管段上设有第七控制阀。

所述第六控制阀和第七控制阀是电磁阀，所述第六控制阀和第七控制阀联动，当一个打开时，另一个关闭。

所述第七控制阀的两端设有一条旁通管，所述旁通管上设有旁通阀。

所述储水罐是超纯水的预处理水的储水罐。

本实用新型冷却水的热量回收装置的有益效果如下：

本实用新型冷却水的热量回收装置，通过将制冷机在制冷过程中产生的废热通过冷却水给需要加热且温度适宜的储水罐，从而达到合理利用资源、节约能源的目的。

附图说明

本实用新型的冷却水的热量回收装置由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的制冷机废热的排放示意图；

图2是本实用新型冷却水的热量回收装置的实施例的结构示意图；

图中，1-制冷机、2-冷却塔、3-第一传输泵、4-热交换器、5-储水罐、6-第二传输泵、7-用户使用端、11-第一控制阀、12-第二控制阀、13-第三控制阀、14-第四控制阀、15-第五控制阀、16-第六控制阀、17-第七控制阀、18-旁通阀。

具体实施方式

以下将对本实用新型的冷却水的热量回收装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。