[实用新型]晶片盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及装载晶片的晶片盒。

背景技术

在集成芯片的工艺中，用于制作芯片的晶片在不同工艺之间以及在每一工艺的运输过程中都是储藏在晶片盒(Pod)中运输的。晶片盒的使用可为晶片提供较高洁净度环境，避免晶片受到洁净度相对晶片盒内要低的制作车间内污染源的污染。为提高晶片盒利用率，通常一个晶片盒中会储存多个晶片。传统的晶片盒请参考图1和图2，晶片盒1包括底盘10和罩盖12，所述晶片盒1还至少包括：设置在罩盖12相对两侧壁121、123上分别可供使用者把持的把手14；设置在其中一个侧壁122上、提供所述晶片盒内晶片信息的智能标签16；以及设置在其中一个侧壁124(所述侧壁124与设置有所述智能标签16的那一个侧壁122相正对)的内表面、用于对晶片架(未在图式中显示)进行限位的锁扣结构18，所述锁扣结构18包括设置在罩盖12的侧壁124的内表面的支架180、设置在所述支架180上的支撑滑杆182、以及设置在支撑滑杆182中央处的活动锁件184。

请继续参考图1和图2，所述智能标签16仅是通过设置在其底边的安装螺孔而螺接至罩盖12上的，而在智能标签16的其他部分则没有设置相应的安装点，在使用过程中会使得所述智能标签16相对所述罩盖12产生翻转，并在翻转过程中对螺接处的连接点造成损伤甚至出现断裂。另外，在所述锁扣结构18中，由于将所述支架180设计为上下等宽结构，且其中的宽度较小，使得支撑滑杆182及其上的活动锁件184移动不灵活、不平稳，会出现卡制或跳动，不能很好地对晶片架进行限位，甚至会在限位过程中造成对晶片架上晶片的损伤，降低晶片的使用寿命，增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种晶片盒，避免晶片盒内装载有晶片的晶片架锁固不稳的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种晶片盒，包括：适于装载晶片的底盘和与所述底盘接合、适于形成密闭空间的罩盖，所述罩盖的相对二侧壁设有把手；设于所述罩盖的其中一个侧壁的内表面的锁扣结构；其中，所述锁扣结构包括：设于所述罩盖的侧壁的内表面的支架，所述支架呈上宽下窄；分别活动设于所述支架的上下二端的第一支撑滑杆和第二支撑滑杆，所述第一支撑滑杆要比所述第二支撑滑杆长；活动设于所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆、作上下移动的滑动锁件，适于锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架。

可选地，所述把手包括：与所述罩盖的侧壁连接的安装杆；自所述安装杆侧壁延伸的拱形卡手槽；自所述拱形卡手槽底部延伸的托翼。

可选地，所述支架为由所述罩盖的侧壁向内延伸形成的凸片。

可选地，所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆穿设于所述支架。

可选地，所述第一支撑滑杆的长度至少为所述第二支撑滑杆的长度的二倍。

可选地，所述滑动锁件为呈弧形截面的板状结构。

可选地，所述晶片盒还包括适于所述底盘与所述罩盖接合的卡锁结构，所述卡锁结构包括：设于所述底盘的相对二侧壁的槽口；设于所述底盘内的活动块，所述活动块的末端设有对应所述槽口的卡齿，所述卡齿呈向下弯曲；设于所述罩盖的相对二侧壁、对应于槽口的凹槽。

可选地，所述晶片盒还包括智能标签，所述智能标签利用卡固结构卡固于所述罩盖的侧壁。

可选地，所述卡固结构包括：设于所述罩盖的侧壁的卡槽；对应所述卡槽而卡固于所述罩盖的侧壁的辅助安装板，所述辅助安装板的相对二侧设有限位凸块和卡槽；连接于所述智能标签的翼片，所述翼片设有分别与所述辅助安装板的限位凸块和卡槽对应的卡孔和卡边。

可选地，所述底盘和罩盖为塑料成型构件。

相较于现有技术，本实用新型提供了具有结构改进的锁扣结构的晶片盒，所述锁扣结构具有呈上宽下窄的支架，使得设于所述支架上端的第一支撑滑杆要远长于设于所述支架下端的第二支撑滑杆，这样设于第一支撑滑杆和第二支撑滑杆上的滑动锁件移动更灵活、顺畅，能稳固地锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架，减少晶片的损伤，降低晶片的报废率，节省生产成本。

附图说明

图1和图2为现有技术中晶片盒在不同视角下的结构示意图，其中图1为晶片盒显示有智能标签的立体图，图2为晶片盒显示有锁扣结构的立体图；

图3和图4为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒在不同视角下的结构示意图，其中图3为晶片盒显示有智能标签的立体图，图4为晶片盒显示有锁扣结构的立体图；

图5为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒中卡锁结构的卡齿的结构示意图；

图6为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒的组合示意图。

具体实施方式