[实用新型]光刻机的晶片传送机构有效
| 申请号： | 200920214017.1 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN201562122U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王睿 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 晶片 传送 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机的晶片传送机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，所述壳体密封连接至一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路。
2.如权利要求1所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述抽排管路与真空抽吸器连接。
3.如权利要求1所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述抽排管路与处于负压状态的光刻机机台的风管管路连接。
4.如权利要求1所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述抽排管路经一吸粉箱与所述壳体密封连接。
5.如权利要求4所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的下方。
6.如权利要求4所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的上方。
7.如权利要求4所述的光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的侧方。
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