[实用新型]光刻机的晶片传送机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光刻机，尤其涉及一种光刻机的晶片传送机构。

背景技术

现有的光刻机在对晶片进行光刻时，通过晶片传送机构来传输晶片。所述晶片传送机构包括电机、皮带和导轨。所述皮带在电机带动下在导轨上运动。晶片则放置在皮带上，跟随皮带运动，以便进行光刻。

然而，这种光刻机的晶片传送机构在使用过程中，经常会出现损坏现象。通过对损坏部件的失效分析发现：一般都是由于电机(马达)损坏引起。而进一步分析发现：电机是因为过载而烧坏。电机过载的原因经研究发现是由于粉屑阻塞导轨使得皮带运动阻力变大而引起。

而这些粉屑是由于皮带在使用过程中磨损而产生的，这些粉屑会堵塞导轨，使得皮带运动受阻，最终使得电机因为过载而烧毁。

因此，如何防止粉屑堵塞导轨，从而防止电机因此发生损坏事故，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光刻机的晶片传送机构，可以抽排掉导轨上的粉屑，防止粉屑堵塞导轨而引发电机烧毁事故。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种光刻机的晶片传送机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，所述壳体密封连接至一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述抽排管路与真空抽吸器连接。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述抽排管路与处于负压状态的机台的风管管路连接。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述抽排管路经一吸粉箱与所述壳体密封连接。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述吸粉箱设置在壳体的下方。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述吸粉箱设置在壳体的上方。

在述的光刻机的晶片传送机构中，所述吸粉箱设置在壳体的侧方。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过在壳体接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路，藉由所述抽排管路的吸力将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。

附图说明

本实用新型的光刻机的晶片传送机构由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型光刻机的晶片传送机构的结构示意图；

图中，1-壳体、2-抽排管路、3-吸粉箱、4-三通阀。

具体实施方式

以下将对本实用新型的光刻机的晶片传送机构作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想：通过在壳体接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路，藉由所述抽排管路的吸力将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。

请参阅图1，图1所示为本实用新型光刻机的晶片传送机构的结构示意图。

这种光刻机的晶片传送机构，包括置于壳体1内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，所述壳体1密封连接至一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路2。

所述抽排管路2可以与真空抽吸器连接。当然，所述抽排管路2也可以与处于负压状态的光刻机机台的风管管路(图中为示出)连接。本实施例中，由于光刻机机台原本设有具有负压状态的风管管路，所以，所述抽排管路2可以通过一个三通阀4接入该光刻机机台本身具有的处于负压状态的风管管路中。