[实用新型]气浮式基板输送装置无效
| 申请号： | 200920215843.8 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201626700U | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;范振华;覃海;蓝劾 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/06 | 分类号： | B65G47/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气浮式基板 输送 装置 | ||
1.一种气浮式基板输送装置，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，其特征在于：所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
2.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述喷气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
3.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述气板上表面的喷气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
4.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述泄气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐减小。
5.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述气板上表面的泄气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐减小。
6.如权利要求4或5所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述泄气孔上表面孔径小于所述泄气孔下表面孔径。
7.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述喷气孔上表面孔径大于所述喷气孔下表面孔径。
8.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述气板上表面两端的喷气孔密度大于所述气板中间的喷气孔密度。
9.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于：所述气板上表面两端的喷气孔孔径大于所述气板中间的喷气孔孔径。
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