[实用新型]气浮式基板输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种气浮式基板输送装置。

背景技术

在有机发光显示器件、太阳能电池板的制造过程中一般涉及一系列与基板有关的工序，此处的基板和在下文中所提到的基板均指扁平状的板，基板可以是玻璃基板、硅基板等或者在其表面处理过的玻璃基板、硅基板等。一般的工序都要经过清洗、镀膜、热处理等。通常的若干的工序需要在若干处理装置间执行，处理装置可以包括若干腔室和若干零部件，因此需要在若干处理装置间进行若干次基板的输送。

主要的基板输送形态可以分为接触式和非接触式，一般的接触式输送基板的系统是将基板装在密闭的匣状外壳内进行输送，通常也会采用自动化的输送系统，比如小车输送、机器人输送、皮带输送、钢带输送等。接触式输送通常是使用机械力来作为传输动力，在输送过程中很容易传动件磨损发生偏摆和噪音现象、增大了维修成本，且各输送组件间的彼此摩擦，亦会造成粉粒污染制作工艺环境，影响制作工艺品质。而非接触式传输，则是指使用非接触力来作为输送动力的传输方式，如气浮和磁力等。

在有机发光显示器件、太阳能电池板的生产线中，玻璃基板传输工作平台是一个重要组成部分。传统的传输工作平台采用大量的滚轮、滚珠顶杆和吸盘，玻璃基板和平台之间是相互接触的。这样的平台无论是用于传输还是加工，速度都很慢，而且很容易导致玻璃出现刮伤、污染和变形等缺陷。随着产品的升级换代，玻璃的面积越来越大，传统的接触式传输加工平台已经难以满足要求。

因此，急需一种采用非接触输送方式，特别是气浮式输送的基板输送机构，该气浮式基板输送装置运行时无污染、无噪音、机件耗损小、输送安全稳定性高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种无污染、无噪音、机件耗损小、输送安全稳定性高的气浮式基板输送装置。

为了实现上述目的，本实用新型所述气浮式基板输送装置包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。

较佳地，所述喷气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。理论上在气浮载台是处在一个相对的封闭空间内的，但是现实生产中，在相对的封闭空间内也会存在一定的漏气问题或者其它一些问题，通俗的说从气板上喷出的气体容易集中到基板下部的中间位置，而基板下部的中心位置就会在应力的影响下变形，导致基板出现不良品。为了解决上述的气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，通过在气板沿中心向气板边缘依次增大气板上喷气孔的密度从而增大基板边缘的气体的喷气量和浮力，使基板始终处于平整的悬浮状态。

较佳地，所述气板上表面的喷气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。通过在气板上表面沿中心向气板边缘依次增大喷气孔的孔径，从而增大基板边缘的气体的喷气量和浮力，使基板始终处于平整的悬浮状态。

较佳地，所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述泄气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐减小。这样可以在气体从气浮载台的气板上喷出的同时进行泄气，保持了基板下部的表面受到均衡的浮力，并使得所述气板的泄气量从气板边缘向气板中心逐渐增大，防止由于气板上喷出的气体容易集中到基板下部的中心位置，而使得气板中心的喷气量多于气板边缘的喷气量造成基板的变形。

较佳地，所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述气板上表面的泄气孔孔径从所述气板中心向气板边缘逐渐减小。这样使得所述气板的泄气量从气板边缘向气板中心逐渐增大，防止由于气板上喷出的气体容易集中到基板下部的中心位置，而使得气板中心的喷气量多于气板边缘的喷气量造成基板的变形。

较佳地，所述泄气孔上表面孔径小于所述泄气孔下表面孔径。这样做可以更好的引导气流从气板流出，以达到泄气的目的，从而保持了基板下表面受到均衡的浮力，基板在输送过程正处于平整的悬浮状态。

较佳地，所述喷气孔上表面孔径大于所述喷气孔下表面孔径。这样做可以更好的引导气流吹向基板，使基板在输送过程正处于平整的悬浮状态。