[实用新型]探针单元及检查装置

权利要求书

1.一种探针单元，其特征在于，该探针单元包括：

探针部件，其通过使多个探针分别与设于检查对象面板上的多个端子相接触来进行点亮检查；

短路装置，其在使上述各探针分别与上述各端子相接触而进行点亮检查时使各端子短路，

上述短路装置包括：短路构件，其与上述各端子相对设置，与上述各端子同时接触而使所有端子短路；按压机构，其在被支承于上述探针部件侧的状态下支承该短路构件并使该短路构件与上述各端子相接触。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述短路构件由覆盖上述检查对象面板的多个端子整体、并同时与上述检查对象面板的多个端子相接触的导电性橡胶构成。

3.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述按压机构包括滑板部和移动支承部，该滑板部在使上述短路构件与上述检查对象面板的端子相对地支承上述短路构件的状态下滑动，并使上述短路构件能相对于上述端子装卸；该移动支承部使该滑板部在待机位置和短路位置之间移动地支承该滑板部。

4.根据权利要求3所述的探针单元，其特征在于，

上述移动支承部包括推杆和限制器，该推杆借助上述滑板部将上述短路构件按压于上述端子；该限制器将该推杆支承在上述滑板部的待机位置和短路位置。

5.根据权利要求3所述的探针单元，其特征在于，

上述移动支承部包括驱动缸和控制部，该驱动缸借助上述滑板部将上述短路构件按压于上述端子；该控制部控制该驱动缸而使上述滑板部在待机位置和短路位置之间移动。

6.根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，

该探针单元仅设置1个上述滑板部，并且具有分别与配置多个的上述探针部件相对应的支部，同时支承所有短路构件，

仅设置1个上述驱动缸，驱动上述滑板部而使所有短路构件同时移动。

7.根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，

分别与配置多个的上述探针部件相对应地设置多个上述滑板部，

上述驱动缸分别设于上述多个滑板部上并分别驱动各滑板部，仅驱动各驱动缸中的与产生不良情况的位置相对应的驱动缸。

8.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

该探针单元还包括将上述按压机构能转动地支承在上述探针部件侧的转动机构。

9.一种检查装置，其用于检查检查对象面板，其特征在于，

该检查装置包括：面板配置部，其用于在对从外部插入的检查对象面板检查结束后将该检查对象面板向外部搬出；测量部，其用于支承并检验从该面板配置部接过来的检查对象面板，

使用权利要求1～8中任一项所述的探针单元作为上述测量部的探针单元。