[实用新型]探针单元及检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种液晶面板等点亮检查所使用的探针单元及检查装置。

背景技术

在液晶面板等的制造工序中，要进行该面板是否具有说明书中那样的性能等的检查。在该检查中，通常使用具有包括多个探针的探针单元的检查装置。在该情况下，在使检查装置的各探针与检查对象面板的端子全接触(full contact)的状态下，通过施加检查信号将其点亮来进行检查。

在这样的检查装置中，当在点亮检查时产生线缺陷等的不良情况时，为了判断该不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的，要额外进行与该点亮检查工序不同的检查。具体而言，采用使用了简易点亮检查用探针单元(使用了导电性橡胶)的检查方法或使用了1G1D检查用探针单元的检查方法判断上述问题是由面板引起的还是由探针单元引起的。作为这样的检查方法的例子，有专利文献1。

专利文献1：日本特开平9-138442号公报

但是，在上述检查装置中，由于额外进行与通常的点亮检查工序不同的检查，因此需要两种检查工序，存在检查效率差这样的问题。

发明内容

本实用新型是为了解决上述问题而作成的，其目的在于提供一种能够在通常的点亮检查工序中判断上述不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的探针单元及检查装置。

为了解决上述问题，本实用新型的探针单元的特征在于，该探针单元包括：探针部件，其通过使多个探针分别与设于检查对象面板上的多个端子相接触来进行点亮检查；短路装置，其在使上述各探针分别与上述各端子相接触而进行点亮检查时使各端子短路，上述短路装置包括：短路构件，其与上述各端子相对设置，与上述各端子同时接触而使所有端子短路；按压机构，其在被支承于上述探针部件侧的状态下支承该短路构件并使该短路构件与上述各端子相接触。

本实用新型的检查装置是用于检查检查对象面板的检查装置，其特征在于，该检查装置包括：面板配置部，其用于在对从外部插入的检查对象面板检查结束后将该检查对象面板向外部搬出；测量部，其用于支承并检验从该面板配置部接过来的检查对象面板，使用上述探针单元作为上述测量部的探针单元。

在上述结构中，在上述检查对象面板上产生线缺陷等不良情况时，通过上述按压机构使上述短路构件与上述各端子相接触而对所有端子施加检查信号。由此，能容易地判断上述检查对象面板的不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的，提高了检查效率。

附图说明

图1是表示本实用新型的实施方式的探针单元的局部剖切侧视图。

图2是表示检查装置的立体图。

图3是表示本实用新型的实施方式的探针单元的立体图。

图4是表示使本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置转动的状态的立体图。

图5是以局部剖切的状态表示本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置的主要部分放大图。

图6是表示本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置的分解立体图。

图7是以拆下了该短路装置的状态表示本实用新型的实施方式的探针单元的俯视图。

图8是表示第1变形例的立体图。

图9是表示第2变形例的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本实用新型的实施方式的探针单元及检查装置。

如图2所示，本实施方式的检查装置1主要由面板配置部2和测量部3构成。

面板配置部2是用于将从外部插入的液晶面板5向测量部3输送、并将检查结束后的液晶面板5向外部输送的装置。面板配置部2在开口部6的深处具有面板交接装置7，利用该面板交接装置7从外部接收液晶面板5，利用输送臂8支承并向测量部3输送该液晶面板5。另外，面板交接装置7接收通过测量部3检查结束后的液晶面板5并将其向外部输送。

测量部3是用于支承并检验从面板配置部2接过来的液晶面板5的装置。测量部3包括工件台10、探针单元11等。

工件台10是用于支承液晶面板5并调整XYZθ方向的装置。工件台10支承由输送臂8输送来的液晶面板5，并使液晶面板5与探针单元11准确地对位地与探针单元11相接触。如图7所示，液晶面板5由用于显示图像的面板显示部5A、面板显示部5A周围的面板端子部5B、设于面板端子部5B上且向面板显示部5A传递信号的端子5C构成。探针单元11相对于端子5C准确地对位。

探针单元11是与液晶面板5的端子5C相接触并对其施加检查信号、为了检查液晶面板5而将其点亮的装置。如图1、3～7所示，探针单元11包括探针基部12、探针装置13、校准摄像机14和短路装置15。