[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，其特征在于：所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈筒状结构，且在其下端面边缘为斜面，在斜面上有通孔，该通孔与炉室及大法兰上的孔相通。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于：所述分流罩包括外罩体、内筒体，所述外罩体为下端为斜面的筒状结构，所述内筒体为筒状结构，其位于外罩体内；所述外罩体通过其斜面端部与内筒体端部密封固接，所述外罩体上端嵌入小法兰端面并与小法兰密封连接；所述内筒体上端部穿过小法兰中心通孔并与小法兰中心通孔壁密封固定；所述外罩体斜面上均布有n个通孔，该通孔与炉室相通，所述小法兰上均布有n个与外罩体斜面通孔相对的法兰通孔。

3.根据权利要求1或2所述的单晶炉，其特征在于：在大法兰下端面一侧有一个两端为圆弧的长阶梯槽，该槽槽底一端与大法兰上端面的阶梯孔相通，所述小法兰上的一个法兰通孔与长阶梯槽相对。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于：所述小法兰通过连接件与大法兰连接，在所述长阶梯槽的大槽内的一侧嵌有一密封垫，该密封垫与小法兰上端面接触。

5.根据权利要求1或2所述的单晶炉，其特征在于：所述外罩体斜面端部与内筒体端部焊接固定，所述外罩体与小法兰焊接密封，所述内筒体上端部与小法兰中心通孔壁焊接密封。

6.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于：所述外罩体斜面上通孔的个数n为6～8。

7.根据权利要求6所述的单晶炉，其特征在于：所述外罩体斜面上通孔的个数n优选8。

8.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于：所述的连接件为螺钉。