[实用新型]中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备

权利要求书

1.一种中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于其包括：

预备室(7)，作为镀膜生产设备上集热管的装卸空间；

溅射室(4)，具有与镀膜层数一致的数量，用于镀膜的溅射，内部设有内轨道(12)；

外传输轨道，为设置在环形的、气密封的转运管道(6)内的轨道，包括所述预备室、溅射室在内的真空室按照溅射工序顺序依次排列在该外传输轨道上，所述内轨道通过换向装置与该外传输轨道相连；

隔离室(8)，位于所述预备室与所述外传输轨道运行方向上的第一个溅射室间，作为低真空与高真空室之间的隔离；

抽真空装置，用于匹配所述真空室以获得相应的真空度；以及

真空锁(5)，设置在所述转运轨道内相邻真空室间，用于真空室间的真空隔离。

2.根据权利要求1所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述隔离室和溅射室的抽真空装置包括分子泵(9)和匹配该分子泵的机械泵(3)。

3.根据权利要求2所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述分子泵位于所述转运管道的环内，各分子泵的出气口通过一与转运管道环同心的弧形管道(10)连接后接于一台机械泵。

4.根据权利要求3所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述预备室的抽真空装置为一旋片罗茨泵机组(1)。

5.根据权利要求4所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述旋片罗茨泵机组与所述机械泵位于所述转运管道的环外，且位于所述预备室的反侧。

6.根据权利要求1至4之一所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述溅射室为圆形，其内轨道为环形，在该环内的圆周上设有多个靶(11)。

7.根据权利要求6所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述靶的个数为3个，位于一正多边形的各顶点上。

8.根据权利要求7所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述溅射室的电源为中频直流电源，且其溅射系统为定向溅射系统。

9.根据权利要求8所述的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于：所述靶的冷却系统为单独的制冷机及配置的闭式循环系统。