[实用新型]中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及一种中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其包括真空室及相应的抽真空设备，外传输轨道，以及通过换向装置与该外传输轨道连接的位于真空室内的内传输轨道。

(二)背景技术

在太阳能系统中，以太阳真空集热管为取能装置的集热系统应用最为广泛。目前，国内绝大部分厂家使用的太阳能集热管镀膜生产设备为单机，但太阳集热管吸收涂层都是复合层，需要不同的靶材进行真空溅射镀制，单机设备不仅生产成本高，而且效率低。

随着生产的发展，为了克服单机产能低、能耗高、产品一致性差的缺点，目前国内外出现了一些中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其包括真空室及相应的抽真空设备，外传输轨道，以及通过换向装置与该外传输轨道连接的位于真空室内的内传输轨道，其结构基本为立式双端结构。此结构缺点为前后各需一个过渡室，每个镀室采用扩散泵机组，占地面积较大。另外工件车在外传输轨道停留时间较长，吸附气体较多，影响真空环境和镀膜质量。

(三)发明内容

本实用新型针对目前集热管连续镀膜生产设备镀膜质量差，设备占地面积大的缺陷，提供了一种结构紧凑，镀膜质量好的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备。

本实用新型采用的技术方案为：

本实用新型中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其包括：

预备室，作为镀膜生产设备上集热管的装卸空间；

溅射室，具有与镀膜层数一致的数量，用于镀膜的溅射，内部设有内轨道；

外传输轨道，为设置在环形的、气密封的转运管道内的轨道，包括所述预备室、溅射室在内的真空室按照溅射工序顺序依次排列在该外传输轨道上，所述内轨道通过换向装置与该外传输轨道相连；

隔离室，位于所述预备室与所述外传输轨道运行方向上的第一个溅射室间，作为低真空与高真空室之间的隔离；

抽真空装置，用于匹配所述真空室以获得相应的真空度；以及

真空锁，设置在所述转运轨道内相邻真空室间，用于真空室间的真空隔离。

根据本实用新型技术方案的中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备采用的外传输轨道，使各真空室依次排列在该传外传输轨道上，可以节省一个隔离室，结构偏于紧凑。而相应的，在外传输轨道内的空间内可以布置包括抽真空设备在内的其他设备，使其结构更加紧凑。由于设置真空锁，且外传输轨道被封离在转运轨道内，工件车只有短时间暴露在粗真空的空间里，吸附气体很少，相应的镀膜质量比较高。另一方面，各真空室卸压的时间短，且卸压后，真空度仍然可以维持在较高的水平，重复抽真空的成本低。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述隔离室和溅射室的抽真空装置包括分子泵和匹配该分子泵的机械泵。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述分子泵位于所述转运管道的环内，各分子泵的出气口通过一与转运管道环同心的弧形管道连接后接于一台机械泵。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述预备室的抽真空装置为一旋片罗茨泵机组。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述旋片罗茨泵机组与所述机械泵位于所述转运管道的环外，且位于所述预备室的反侧。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述溅射室为圆形，其内轨道为环形，在该环内的圆周上设有多个靶。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述靶的个数为3个，位于一正多边形的各顶点上。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述溅射室的电源为中频直流电源，且其溅射系统为定向溅射系统。

上述中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，所述靶的冷却系统为单独的制冷机及配置的闭式循环系统。

(四)附图说明

下面结合说明书附图对本实用新型的技术方案作进一步的描述，使本领域的技术人员更好的理解本实用新型，其中：

图1为本实用新型实施例中中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备的结构示意图。

图2为本实用新型实施例中溅射室的结构示意图。

图中：1、旋片罗茨泵机组，2、管道，3、机械泵，4、溅射室，5、真空锁，6、转运管道，7、预备室，8、隔离室，9、分子泵，10、弧形管道，11、靶，12、内轨道，13、工件车。

(五)具体实施方式

参照说明附图1和2，本实施例中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其包括：

预备室7，作为镀膜生产设备上集热管的装卸空间；

溅射室4，具有与镀膜层数一致的数量，用于镀膜的溅射，内部设有内轨道12；