[实用新型]一种激光刻划纠偏系统

权利要求书

1.一种激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述激光刻划纠偏系统包括定位旋转轴、固设于所述定位旋转轴的定位杆、设于所述定位杆一端的推动装置、设于所述定位杆另一端的从动导向旋转装置、驱动所述推动装置运动的电机、控制所述电机运转的控制器以及与所述控制器电连接的影像检测装置。

2.如权利要求1所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述推动装置包括固设于所述定位杆一端部的导轨、与所述导轨的滑块相固接的底板、设于所述底板与所述定位杆之间的滚珠丝杆、穿设于所述底板的第一转轴、与所述第一转轴配合的轴承和与所述轴承相固接的工装夹具，所述滚珠丝杆的螺母与所述底板相固接。

3.如权利要求2所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述导轨为直线导轨，所述直线导轨具有两个，两个所述直线导轨均垂直于所述定位杆轴向；所述轴承包括上轴承和下轴承，所述上轴承和下轴承外设轴承座，所述工装夹具通过轴承座固接于所述轴承。

4.如权利要求2所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述定位杆固设于所述定位旋转轴的顶端，所述定位旋转轴下端设有轴承，所述轴承包括上轴承和下轴承，所述上轴承和下轴承外设轴承座，所述工装夹具通过轴承座固接于所述轴承。

5.如权利要求2所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述从动导向旋转装置包括固设于所述定位杆另一端部的上导轨、与所述上导轨的滑块相固接的上连接板、设于所述上连接板下方的下导轨和与所述下导轨相固接的下连接板，所述下导轨的滑块固接于所述上连接板，所述上连接板与所述下连接板中间穿设第二转轴，所述第二转轴外设轴承，所述第二转轴底部与所述工装夹具相固接构成精密旋转机构。

6.如权利要求2所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述从动导向旋转装置包括固设于所述定位杆另一端部的上导轨、与所述上导轨的滑块相固接的上连接板、设于所述上连接板下方的下导轨和与所述下导轨相固接的下连接板，所述下导轨的滑块固接于所述上连接板，所述下连接板与所述工装夹具相固接构成精密旋转机构。

7.如权利要求5或6所述的激光刻划纠偏系统，其特征在于，所述上导轨和下导轨均为直线导轨，所述上导轨具有两个，两个所述上导轨相互平行且与所述定位杆垂直；所述下导轨具有两个，两个所述下导轨相互平行。