[实用新型]一种激光刻划纠偏系统有效
申请号: | 200920261618.8 | 申请日: | 2009-12-16 |
公开(公告)号: | CN201573011U | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 高云峰;倪鹏玉;刘宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/42 | 分类号: | B23K26/42 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 刻划 纠偏 系统 | ||
技术领域
本实用新型属于激光刻划技术领域,尤其涉及一种激光刻划纠偏系统。
背景技术
随着激光技术的不断发展,激光加工技术(如激光打标、激光焊接或激光雕刻等)越来越广泛地应用于各种精密加工。目前发展较为成熟的非晶硅薄膜太阳能电池芯片采用激光刻划其电极,激光刻划槽具有三道,对所述刻划槽的技术要求为:刻划槽光滑清晰,刻线槽两侧没有粘连短路,三道刻划槽相互平行,三道刻划槽的宽度加它们之间的间距不超过0.5mm。伴随每一次刻划都会有刻划线槽与前一道刻划槽偏离而交叉的可能,如果未在刻划前及时将即将进行的刻划槽相对于前一道刻划槽的偏离纠正过来,就会出现刻划槽两侧粘连短路或三道刻划槽的宽度加它们之间的间距超过0.5mm的现象,造成次品或废品,既降低生产效率又浪费,市售激光刻划设备加工出来的非晶硅薄膜太阳能电池芯片往往因此不符合要求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可自动及时纠正即将进行的刻划槽相对于前一道刻划槽的偏离的激光刻划纠偏系统。
本实用新型是这样实现的,一种激光刻划纠偏系统,包括:定位旋转轴、固设于所述定位旋转轴的定位杆、设于所述定位杆一端的推动装置、设于所述定位杆另一端的从动导向旋转装置、驱动所述推动装置运动的电机、控制所述电机运转的控制器以及与所述控制器电连接的影像检测装置。
激光刻划机增设本纠偏系统,本纠偏系统具有定位旋转轴、固设于所述定位旋转轴的定位杆、设于所述定位杆一端的推动装置、设于所述定位杆另一端的从动导向旋转装置、驱动所述推动装置运动的电机、控制所述电机运转的控制器以及与所述控制器电连接的影像检测装置,因而能够对工件第二道刻划槽及其之后的刻划槽自动纠偏,使之均与第一道刻划槽平行,加工出来的工件符合要求。
附图说明
图1是本实用新型提供的激光刻划纠偏系统整体结构示意图;
图2是本实用新型提供的激光刻划纠偏系统另一整体结构示意图;
图3是本实用新型提供的激光刻划纠偏系统局部放大图;
图4是非晶硅薄膜太阳能电池芯片结构示意图;
图5是本实用新型带动工装夹具纠偏动作示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1所示,本实施例提供的激光刻划纠偏系统位于工装夹具1上方,如图2所示,所述激光刻划纠偏系统亦可位于所述工装夹具1下方。所述激光刻划纠偏系统包括定位旋转轴2、固设于所述定位旋转轴2的定位杆3、设于所述定位杆3一端的推动装置4、设于所述定位杆3另一端的从动导向旋转装置5、驱动所述推动装置4运动的电机(图中未示出)、控制所述电机运转的控制器(图中未示出)以及与所述控制器电连接的影像检测装置6。如图3所示,所述推动装置4包括固设于所述定位杆3一端部的导轨10、与所述导轨的滑块11相固接的底板7、设于所述底板7与所述定位杆3之间的滚珠丝杆8、穿设于所述底板7的第一转轴9、与所述第一转轴9配合的轴承和与所述轴承相固接的工装夹具1,所述滚珠丝杆8的螺母与所述底板7相固接。所述导轨为直线导轨,所述直线导轨具有两个,两个所述直线导轨均垂直于所述定位杆3轴向;所述轴承包括上轴承和下轴承,所述上轴承和下轴承外设轴承座,所述工装夹具1通过轴承座固接于所述轴承。
如图3所示,所述定位杆3固设于所述定位旋转轴2的顶端,所述定位旋转轴2下端设有轴承,所述轴承亦包括上轴承和下轴承,所述上轴承和下轴承外设轴承座,所述工装夹具1通过轴承座固接于所述轴承。
如图3所示,所述从动导向旋转装置5包括固设于所述定位杆3另一端部的上导轨12、与所述上导轨12的滑块13相固接的上连接板14、设于所述上连接板14下方的下导轨和与所述下导轨相固接的下连接板,所述下导轨的滑块固接于所述上连接板14,所述上连接板14与所述下连接板中间穿设第二转轴16,所述第二转轴16外亦设轴承,所述第二转轴16底部与所述工装夹具1相固接构成精密旋转机构。本实施例中所述上导轨12和下导轨均为直线导轨,所述上导轨12具有两个,两个所述上导轨12相互平行且与所述定位杆3垂直;所述下导轨亦具有两个,两个所述下导轨相互平行。
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