[实用新型]铝或铝合金溅射靶材包装件有效
| 申请号： | 200920267110.9 | 申请日： | 2009-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN201545361U | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/00 | 分类号： | B65D85/00;B65D65/02;B65D65/42;B65D30/02;B65D81/20;B32B15/08;B32B15/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铝合金 溅射 包装 | ||
【权利要求书】：
1.一种铝或铝合金溅射靶材包装件，具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体，
所述包装体由氧气透过量在5ml/m2·24hr·MPa以下、透湿量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成。
2.根据权利要求1所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述包装体是包装袋的形式。
3.根据权利要求1所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述包装体是包装膜片的形式。
4.根据权利要求1所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述塑料膜的一个或二个表面涂有涂覆层。
5.根据权利要求4所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述涂覆层为铝箔。
6.根据权利要求1所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述塑料膜的厚度在90μm以上，密度在0.960g/cm3以上。
7.根据权利要求1所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，所述塑料膜的拉伸强度在100N/15mm以上，抗刺破强度在10N以上。
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的铝或铝合金溅射靶材包装件，其特征在于，其为真空密封包装件。
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