[实用新型]铝或铝合金溅射靶材包装件

说明书

技术领域

本实用新型提供一种可在半导体领域中使用的溅射靶材包装件，尤其涉及一种铝或铝合金溅射靶材包装件。

背景技术

目前，实际生产中普遍采用的铝或铝合金溅射靶材(以下，简称为“铝溅射靶材”)的包装件为使用由普通塑料膜制成的包装袋进行包装的包装件。在包装形式上，铝溅射靶材包装件分为只使用一个包装袋包装的单层包装件、以及使用多个包装袋包装的多层包装件。由于普通塑料膜的氧气透过量、透湿量都比较大，受普通塑料膜自身特性所限，在使用普通塑料膜进行包装的情况下，即使进行真空密封包装且包装袋自身没有破损，如果保存时间过长，包装袋内的氧气累计含量、水蒸气累计含量也会很大。而铝溅射靶材表面极易发生氧化，当氧气累计含量、水蒸气累计含量超过一定限度时，包装袋内的铝溅射靶材表面就会发生氧化，形成氧化膜。而且，现行的包装件大多不进行抽真空处理，包装后包装袋内会残留有部分空气，这部分残留空气会加速铝溅射靶材表面的氧化。

铝溅射靶材表面发生氧化而形成氧化膜，该氧化膜致使铝溅射靶材表面硬度变大，从而导致铝溅射靶材表面难以发生溅射并使溅射镀膜的效率下降。而且，铝溅射靶材的氧化膜表面与其芯部的硬度不同，会溅射过程不稳定，从而导致溅射镀膜的成膜质量下降。上述情况最终会造成所生产产品的合格率、生产率下降。因此，在目前使用由普通塑料膜制成的包装袋进行包装的情况下，通常，铝溅射靶材的保存时间都比较短，以防止因铝溅射靶材表面发生氧化而造成溅射镀膜效率和溅射镀膜成膜质量的下降、以及所生产产品的合格率和生产率的下降。

铝溅射靶材的保存时间比较短，给铝溅射靶材的生产、运输、供货及销售等方面产生了很大的困难。具体地说，铝溅射靶材的保存时间较短，会导致其生产周期比较短，因此对原材料的采购、产品的生产等生产管理事务造成很大的制约。而且，铝溅射靶材的保存时间较短，则其库存量也会比较小，在需求量波动较大的时候，无法及时供货以满足客户的需求。另外，铝溅射靶材的保存时间较短，还会使可用于物流运输的时间比较短，这种情况对远距离销售及运输造成了很大的限制，特别是无法适应产品远距离销售这一情况，严重阻碍了产品销路的拓宽。

综上所述，对于铝溅射靶材而言，采取适当的措施，延长其保存时间，使其表面不会在短时间内发生氧化，对铝溅射靶材的生产、运输、供货及销售等方面都会产生积极的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种铝或铝合金溅射靶材包装件，其可以提高铝或铝合金溅射靶材包装件的保存时间，以解决现有技术中采用普通塑料膜进行包装的包装件对铝溅射靶材的生产、运输、供货及销售等方面造成很大制约这一问题。

本实用新型的技术方案如下：

一种铝或铝合金溅射靶材包装件，具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体，所述包装体由氧气透过量在5ml/m²·24hr·MPa以下、透湿量在3ml/m²·24hr以下的塑料膜制成。

可选地，所述包装体是包装袋的形式。

可选地，所述包装体是包装膜片的形式。

可选地，所述包装件中，所述塑料膜的一个或二个表面涂有涂覆层。

可选地，所述包装件中，所述涂覆层为铝箔。

可选地，所述包装件中，所述塑料膜的厚度在90μm以上，密度在0.960g/cm³以上。

可选地，所述包装件中，所述塑料膜的拉伸强度在100N/15mm以上，抗刺破强度在10N以上。

可选地，所述包装件为真空密封包装件。

根据上述技术方案的铝或铝合金溅射靶材包装件，可以使铝或铝合金溅射靶材保存时间变长，给生产、运输、供货及销售等各方面提供便利。例如，铝溅射靶材的保存时间变长，可以使其生产周期较长，方便管理者对生产实施优化管理，还可以使其库存量变大，及时响应市场变化以满足客户需求。此外，铝或铝合金溅射靶材的保存时间变长，还能够使可用于物流运输的时间变长，更利于对产品的远距离运输、销售、以及产品销路的拓宽等。

附图说明

图1为本实用新型实施方式中的铝溅射靶材的俯视示意图；

图2为本实用新型实施方式中的铝溅射靶材沿图1中A-A线的截面图；

图3为本实用新型实施方式中第一实施例的铝溅射靶材包装件的包装步骤流程图；

图4为本实用新型实施方式中第一实施例的铝溅射靶材包装件的包装效果图；

图5为本实用新型实施方式中第二实施例的铝溅射靶材包装件的包装步骤流程图；

图6为本实用新型实施方式中第二实施例的铝溅射靶材包装件的包装效果图。

具体实施方式