[实用新型]薄型基板湿制程装置

权利要求书

1.一种薄型基板湿制程装置，其特征在于，其是包括：

一湿制程箱体，其两端部形成有一入口以及一出口，且于两侧接近该入口处各设有一直立式低喷速喷液装置，且该湿制程箱体的两侧且邻近于直立式低喷速喷液装置各设有一喷洒装置；

一运送装置，其是具有一运送轨道以及一夹具，该运送轨道是设置于该湿制程箱体的顶部，且设置于该等喷洒装置之间的位置，而该夹具是移动式地与该运送轨道结合，以于该运送轨道中移动。

2.如权利要求1所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其中各直立式低喷速喷液装置是包括两直立且平行设置的输送管，各输送管上设有数个喷嘴，各喷嘴的出水口是朝向该湿制程箱体内部。

3.如权利要求1所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其中各直立式低喷速喷液装置仅由一直立设置的输送管所组成，各输送管上设有数个喷嘴，各喷嘴的出水口是朝向该湿制程箱体内部。

4.如权利要求1所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其中各直立式低喷速喷液装置包括两直立且平行设置的输送管，且两输送管之间设置有一连接管，各连接管上设有至少一喷嘴，各喷嘴的出水口是朝向该湿制程箱体内部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其还包括两液体输入管，其是分别连通于该直立式低喷速喷液装置与该喷洒装置。

6.如权利要求1至4中任一项所述的薄型基板湿制程装置，其还包括一液体输入管，其设有两具有水阀的支管，分别连接于该直立式低喷速喷液装置与该喷洒装置。

7.如权利要求1至4中任一项所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其还包括一前处理箱体，其是与该湿制程箱体结合且连通，且该运送装置的运送轨道是一体设置于该处理箱体与该湿制程箱体的顶部。

8.如权利要求1至4中任一项所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其中各喷洒装置是包括数个横向设置的输送管，且各输送管上设有数个喷嘴，各喷嘴的出水口是朝向该湿制程箱体内部。

9.如权利要求1至4中任一项所述的薄型基板湿制程装置，其特征在于，其中该夹具设有滚轮，其是移动式地设置于该运送轨道中。