[实用新型]薄型基板湿制程装置

说明书

技术领域

本实用新型是一种直立式喷液装置，尤其是一种于湿制程中避免薄型基板因液体的喷洒而晃动而与箱体内的喷头等组件碰触，导致基板损坏而降低良率所设置的喷液装置。

背景技术

一般的电路基板可分为两种，一为传统的硬式基板，另一则为如纸一般可以弯折的薄型基板，而这两种基板都会在形成预设的电路制程中经过湿制程程序。

基板湿制程有水平湿制程及垂直湿制程两种方式，两种制程均可用于硬式或软性基板，在对于基板上线路精度要求不高的情况下，以上两种制程在操作上并无问题；但是因随着电子产品体积微型化及基板线路精细度要求愈来愈高的情况下，基板在湿制程过程中被要求不得有与湿制程箱体中的任何组件会有碰触的情况发生，而以上两种制程于硬式基板的应用并无问题，但对于厚度薄如纸张的软式基板将会无法达成要求；以中国台湾专利第339188号“薄板材输送装置”为例，其是水平湿制程的应用例，是具有上、下滚轮组以及上、下喷洒装置，该下滚轮组是在该基板下方用以传输该基板，而上滚轮组是在该基板上方用于辅助该下滚轮组传输该基板，而在传输的过程中，该上、下喷洒装置会分别朝该基板的上表面和下表面喷洒如蚀刻液的液体，以使基板的上表面和下表面形成预设线路，然因基板是于上下输送轮组件输送，其输送轮会碰触到基板的线路部分，并不符合在湿制程过程中基板被要求不得与湿制程箱体中的任何组件会有碰触的情况要求；再如中国台湾专利第523246号“直立式电路板输送及吹风结构”为例，其是垂直湿制程的应用例，该装置顶部中央设有一运输夹具，用以夹持薄型基板，基板是于左右输送轮组件输送，该装置的两侧则分别设有一喷洒装置图中未绘，使得该运输夹具移动时，该等喷洒装置能朝该薄型基板的两侧面喷洒如蚀刻液的液体，以达成形成预设线路的效果，但这种设计的输送轮亦会碰触到基板的线路部分，并不符合基板在湿制程过程中被要求不得与湿制程箱体中的任何组件会有碰触的情况要求。

目前又一种湿制程直立式的装置，该装置于顶部设有运输夹具，用以夹持薄型基板上端缘，而在该装置的两侧则仅分别设有一喷洒装置，使得该运输夹具移动时，该等喷洒装置能朝该薄型基板的两侧面喷洒蚀刻液，以达成形成预设线路的效果，这种装置并未设有如中国台湾专利第523246号“直立式电路板输送及吹风结构”案的输送轮组，所以基板于湿制程过程中不会有碰触输送轮的问题，但是这种装置使用于硬式基板时，因基板较重及较硬，于输送过程中不易晃动，所以基板并不会碰触到喷洒装置的喷嘴，不会产生影响基板良率的问题。

然而，当应用在薄型基板的输送时，因基板本身较轻且柔软，在基板刚进入湿制程装置中且尚未经喷洒装置喷洒如蚀刻液等液体之前，是呈现完全干燥的状态，并仅于顶部设有运输夹具，用以夹持薄型基板上端缘，因此在刚进入喷洒装置之间喷洒液体时，该薄型基板会因为喷洒装置液体高速喷洒所产生的喷力以及所带动的气流而让尚未完全湿润的薄型基板摆荡晃动，而碰触到喷洒装置的喷嘴，造成该薄型基板上线路的损坏，因此既有的湿制程直立式装置无法提升薄型基板的良率。

为了避免上述情形，另一种改良的设计，是在前述湿制程基板底部设置有另一下运输夹具，使得该薄型基板的上、下都被夹持而拉直，以便于基板进入喷洒装置之间喷洒液体时，可以减少基板摆荡晃动，但是这种设计必须因应不同面积的基板重新设置不同的下运输夹具，且将基板夹设于下运输夹具亦增加工时，增加该湿制程装置的基板制作成本，并不符合经济效益。

实用新型内容

本创作人有鉴于既有的薄型基板湿制程装置会让薄型基板的生产良率无法提升，或者有经济成本上的负担，因此经过不断的尝试与努力，终于实用新型出此薄型基板湿制程装置。

本实用新型的目的是在于提供一种于湿制程中避免薄型基板因液体的喷洒喷力而晃动碰触到喷嘴等组件，导致基板预设线路损坏而降低良率所设置的喷液装置。

为达上述目的，本实用新型的薄型基板湿制程装置，其是包括：

一湿制程箱体，其两端部形成有一入口以及一出口，且于两侧接近该入口处各设有一直立式低喷速喷液装置，且该湿制程箱体的两侧且邻近于直立式低喷速喷液装置各设有一喷洒装置；

一运送装置，其是具有一运送轨道以及一夹具，该运送轨道是设置于该湿制程箱体的顶部，且设置于该等喷洒装置之间的位置，而该夹具是移动式地与该运送轨道结合，以于该运送轨道中移动。