[实用新型]减振支撑机构及具有该机构的升降装置

权利要求书

1.一种减振支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其特征在于：所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。

2.如权利要求1所述的减振支撑机构，其特征在于：还包括螺母，所述连接柱的下端依次穿过所述承载板及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相抵触。

3.如权利要求1所述的减振支撑机构，其特征在于：所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽。

4.一种升降装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述升降装置包括驱动机构、减振支撑机构及至少三组顶杆机构，所述减振支撑机构的上端与所述真空腔体的底板固定连接，下端与所述驱动机构连接，所述顶杆机构的下端与所述减振支撑机构的下端固定连接，所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述驱动机构驱动所述减振支撑机构及所述顶杆机构做往复运动，其特征在于：所述减振支撑机构包括安装板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述真空腔体的底板与所述安装板之间，所述安装板与所述驱动机构连接；所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述真空腔体的底板固定连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述真空腔体的底板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述真空腔体的底板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，下端与所述安装板固定连接。

5.如权利要求4所述升降装置，其特征在于：所述连接柱的上端穿过所述安装板与所述真空腔体的底板螺纹连接，所述连接柱的下端与所述安装板相抵触。

6.如权利要求4所述的升降装置，其特征在于：所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽。

7.如权利要4所述的升降装置，其特征在于：所述顶杆机构具有连接板及从所述连接板上凸伸出的顶杆，所述连接板与所述安装板固定连接，所述顶杆伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接。

8.如权利要7所述的升降装置，其特征在于：所述升降装置还包括波纹管，所述波纹管的上端与所述真空腔体的底板密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体的底板处开设有通道孔，所述顶杆的上端自由的穿过所述通道孔，所述顶杆的下端套于所述波纹管内，所述波纹管的下端与所述连接板密封连接。