[实用新型]减振支撑机构及具有该机构的升降装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种支撑机构，尤其涉及一种具有缓冲功能的用于对平板类器件进行支撑的减振支撑机构及具有该减振支撑机构的升降装置。

背景技术

平板显示器(FPD，Flat Panel Display)因具有薄轻、功耗小、辐射低等优点，将成为显示器中的主流产品，平板显示器主要包括液晶显示LCD(LiquidCrystal Display)、等离子显示PDP(Plasma Display Panel)、有机电致发光显示OLED(Organic Light Emitting Display)以及表面传导电子发射显示SED(Surface-conduction Electron-emitter Display)等几大技术类型；各种类型显示器件的生产都需要利用玻璃等作为基板进行真空镀膜，将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，以OLED为例，OLED的制作大都采用以ITO(indium tin oxide)玻璃或石英制成的基板，利用蒸镀设备在玻璃基板上相继沉积多层薄膜，其工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层；可见基板在OLED制程中起着举足轻重的作用，在OLED众多制作工序及后续工艺中，基板需要经过诸多工艺步骤，因此，在这些制成中，对基板需要进行多次支撑和升降，而OLED的基板多由非常薄且易碎的玻璃或石英制成，为了保证OLED的质量和精度，加工过程中对基板处理的自动化要求越来越高的同时，对用于基板的支撑、升降的支撑机构也要求有较高的精度。

现有的用于对基板进行支撑和升降的支撑机构，一种不具有缓冲减振功能，支撑机构直接抵触基板，在对基板进行支撑和升降过程中，硬性机械接触容易导致被支撑和/或被升降的基板破损，降低产品的良品率；另一种支撑机构具有气压减振功能或液压减振功能，这类支撑机构在安装时会将支撑机构以及气缸或液压缸等动力源引入真空蒸镀设备内，这样不可避免的给真空环境带来了来自设备本身的污染，降低真空设备的清洁度，影响蒸镀效果；同时，气缸或液压缸等引入真空设备，使支撑机构的结构复杂、安装困难，制造成本高，而支撑机构位于真空设备内，维修困难。

因此，急需一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便的减振支撑机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便的减振支撑机构。

本实用新型的另一目的在于提供一种具有减振支撑机构的升降装置，该升降装置能维持蒸镀设备的高清洁度，且结构简单、维护方便。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种减振支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其中，所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。

较佳地，所述减振支撑机构还包括螺母，所述连接柱的下端依次穿过所述承载板及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相抵触；当安装板受力的作用沿连接柱向上运动或承载板受力的作用向下运动时，套设于连接柱外的弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对承载板施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承载板承载物件时产生较大的振动，进而避免承载与被承载物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏。

较佳地，所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽；当安装板向上运动或承载板向下运动时，限位件限制安装板向上运动或承载板向下运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；同时，缓冲垫固定于所述安装槽内，当缓冲垫承受安装板与承载板之间的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。