[实用新型]硅片线切割机的张紧装置

权利要求书

1.硅片线切割机的张紧装置，包括压柄(2)、压柄轴(3)和张紧辊轮(4)，其特征在于：张紧辊轮(4)的两端各设有一个压柄(2)，两个压柄(2)的下端通过压柄轴(3)连接，两个压柄(2)分别通过一个弹性压紧机构与线切割机构的固定框架(9)连接。

2.如权利要求1所述的硅片线切割机的张紧装置，其特征在于：所述的张紧辊轮(4)由芯轴(5)、橡胶体(6)和挡圈(7)组成，橡胶体(6)敷着在芯轴(5)的圆周面上。

3.如权利要求2所述的硅片线切割机的张紧装置，其特征在于：所述的橡胶体(6)厚度为8-15mm，邵氏硬度为70-90度。

4.如权利要求1所述的硅片线切割机的张紧装置，其特征在于：所述的弹性压紧机构由棘轮(11)、棘爪(12)和扭转弹簧(10)组成，棘轮(11)设置在固定框架(9)上，棘轮(11)的棘轮轴(14)上设有扭转弹簧(10)，扭转弹簧(10)的两端分别与棘轮(11)和压柄(2)连接。

5.如权利要求1所述的硅片线切割机的张紧装置，其特征在于：所述的张紧辊轮(4)设置在压柄(2)上的轴承套(13)内。