[实用新型]硅片线切割机的张紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片线切割机，具体的说是一种用于硅片线切割机的张紧装置。

背景技术

硅片线切割机主要用于多、单晶硅棒、锭的切片，环绕在切割辊轮的切割线各线的张紧程度是否均匀一致，直接关系所切硅片的质量和切割机能否正常的工作。目前，所使用的硅片线切割机的切割线的张紧度，主要是由切割机收线辊轮的电机功率、转速、扭矩形成的牵引力大小决定的。该机是以单线沿两辊轮的螺旋槽反复缠绕至辊轮末端，经收线辊轮的旋转牵引而实现对晶体硅棒、锭的切割；其存在的问题和不足是：牵引力是固定的、刚性的和不可调节的，由于单线的破断强度只有28～45N，牵引力稍大极易引起断线；牵引力稍小，容易引起切割线出槽、并槽，严重影响产品质量和成品率；同时这种刚性的牵引力一旦遇到切缝卡线问题，同样会引起断线故障。

另外，现有的硅片切割机主要是借助张紧装置来均匀切割线的张紧力度，而切割线的松紧程度不均匀，由于张紧辊轮表面平滑，平滑的辊轴只能对松动程度小的切割线施压，并不能根本上解决全部的切割线张紧问题，所以为了提高硅片线切割机的精度必须从根本上解决切割线的均匀张紧。

实用新型内容

本实用新型的目的是为更好的提高切割的精度和效率，为使线切割机的切割线有个均衡、弹性的张紧力，提高切割机的切片质量和产品成品率，提供一种结构简单、效果好、成本低的张紧装置。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：硅片线切割机的张紧装置，包括压柄、压柄轴和张紧辊轮，张紧辊轮的两端各设有一个压柄，两个压柄的下端通过压柄轴连接，两个压柄分别通过一个弹性压紧机构与线切割机构的固定框架连接。

本实用新型，所述的张紧辊轮由芯轴、橡胶体和挡圈组成，橡胶体敷着在芯轴的圆周面上，

本实用新型，所述的橡胶体厚度为8-15mm，邵氏硬度为70-90度。

本实用新型，所述的弹性压紧机构由棘轮、棘爪和扭转弹簧组成，棘轮设置在固定框架上，棘轮的棘轮轴上设有扭转弹簧，扭转弹簧的两端分别与棘轮和压柄连接。

本实用新型，所述的张紧辊轮设置在压柄上的轴承套内。

所述的压柄上端由两个可拆分的半圆组成张紧辊轮的轴承套，其中半个轴承套与压柄为一体结构，压柄通过压柄轴安装在固定框架。

所述的棘轮、棘爪各两个，安装于固定框架上；所述的棘轮、棘爪也可由手柄扳动机构代替。

张紧辊轮的芯轴是一种金属辊，在芯轴上外敷橡胶体，橡胶体是采用一种优质碳化硅材料，耐磨、弹性好，橡胶体两端设有挡圈，挡圈是一种钢板焊接在芯轴上，挡圈为了固定橡胶体的位置，防止橡胶体在芯轴上发生位移脱落。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型安装简单，维修方便，只需打开轴承套，将张紧辊轮取出就可完成更换；通过棘轮旋转带动扭转弹簧一端转动角度大小的变化，方便调整、调节张紧辊轮对切割线的张紧力；由于在张紧辊轮上设有一层橡胶体，能根据切割线不同的松紧程度，调整切割线的张紧力，压紧切割线的效果更好，使切割线运行更加平稳；利用橡胶的固有弹性减小刻槽和线制造误差，对切割线起到均匀的张紧作用，提高了切割的精度和效率；扭转弹簧受力后的扭力和弹簧自身的张力，对切割线起到张紧作用时，仍有一定的弹性空间，解决了只有一个固定的、刚性的对切割线的张紧力容易引起断线的故障，使切割机运行更加平稳顺畅，极大地提高了切割效率；本实用新型结构紧凑、效率更突出，不仅使切割机的切片精度、质量、效率得到大大提升，而且也使切片成品率提高10～15％。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型在切割机构中的设置方式示意图；

图3是本实用新型的张紧辊轮结构示意图；

图中标记是：1、张紧装置，2、压柄，3、压柄轴，4、张紧辊轮，5、芯轴，6、橡胶体，7、挡圈，8、切割线，9、固定框架，10、扭转弹簧，11、棘轮，12、棘爪，13、轴承套，14、棘轮轴。

具体实施方式