[实用新型]分拣机缓存区硅片盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备领域，尤其是一种分拣机缓存区硅片盒。

背景技术

目前硅片在传送过程中存在跑偏或者定位不准确的情况，造成机械臂在放入硅片盒时有偏差，而由于现采用的硅片盒尺寸较小，与硅片配合性高(多采用行业内常用的“125盒”)，机械臂微小的偏差将导致硅片不能准确放入硅片盒中，而卡在硅片盒边上，于是在机械臂将硅片从缓存区中的硅片盒中提出时，卡在硅片盒边上的硅片容易被压伤，压碎，从而降低了成品率。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供的一种具有导向功能，确保机械臂将硅片放入硅片盒中的分拣机缓存区硅片盒。

为了达到上述目的，本实用新型所设计的分拣机缓存区硅片盒，它主要包括用于存放硅片的盒体，该盒体的盒壁上设有斜面。硅片盒的尺寸可稍大于硅片尺寸，当机械臂产生微小的偏差时，硅片仍能落入硅片盒内，而通过斜面的导向作用可准确落入硅片盒的指定位置，保证后道工序的顺利进行。硅片盒可采用行业内常用的“156盒”。

优选的方案是所述的斜面为设置在盒壁上的导向壁面。将导向壁面与硅片盒做成一体式。

为了硅片放入后能更好地定位，优选的方案还可以是所述的导向壁面至少一个下方设有垂直壁，并通过垂直壁与盒底相连。硅片盒的形状可以为矩形。可以为一到四个导向壁面的下方设有垂直壁。垂直壁可形成相对规则、固定的空间。

优选的方案再可以是所述盒体内设有底盒，该底盒壁由与所述垂直壁配合的直盒壁和与所述导向壁面直接配合的斜盒壁组成。底盒可用于存放硅片，也可方便下一步工序的进行。

为了更好地进行下一步工序，所述底盒壁由三面直盒壁和一面斜盒壁构成，底盒可非常方便地进行包装。

所述斜面还可为与盒壁相连接的倾斜的导向板。

本实用新型所得到的分拣机缓存区硅片盒，结构简单，有效避免机械臂偏差致使硅片不能放入硅片盒中的现象，同时有效减小压碎概率，大大提高了成品率，同时也降低了生产成本。

附图说明

图1是实施例1的结构示意图；

图2是实施例2的分拣机缓存区硅片盒的剖视图；

图3是实施例3的分拣机缓存区硅片盒的剖视图；

图4是实施例3底盒的结构示意图。

图中：盒体1、导向壁面2、盒壁3、垂直壁4、底盒5、直盒壁6、斜盒壁7。

具体实施方式

下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。

实施例1

如图1所示，本实施例所描述的分拣机缓存区硅片盒，它主要包括用于存放硅片的矩形盒体1，盒壁3上的导向壁面2。

本实施例所得到的分拣机缓存区硅片盒，结构简单，有效避免机械臂偏差致使硅片不能放入盒体1中的现象，同时有效减小压碎概率，大大提高了成品率，同时也降低了生产成本。

实施例2

如图2所示，本实施例所描述的分拣机缓存区硅片盒，与实施例1不同的是所述的导向壁面2下设有垂直壁4。

实施例3

如图3、4所示，本实施例所描述的分拣机缓存区硅片盒，与实施例2不同的是三个导向壁面2下设有垂直壁4，另一个导向壁面2为斜面直接与盒底相连，盒体1内设有底盒5，该底盒5壁由与所述垂直壁4配合的直盒壁6和与所述导向壁面2直接配合的斜盒壁7组成，即底盒壁由三面直盒壁6和一面斜盒壁7构成。