[发明专利]用于布局验证的基于模式片断的热点数据库系统

权利要求书

1.一种产生基于模式片断的热点数据库用于执行自动的基于模 式片断的布局验证的方法，所述方法包括：

接收指定在布局中要避免的制造热点的模式片断列表，其中每个 模式片断包括一组相互邻近的几何形状；

将所述模式片断列表合并为减少的一组模式片断，包括以如下方 式将所述模式片断列表中的第一模式片断和第二模式片断合并为第 三模式片断：保持所述第一模式片断与所述第二模式片断之间的共 同特征组同时去除所述第一模式片断与所述第二模式片断之间的一 个或多个差异，其中所述第三模式片断随后被用于使用模式匹配技 术来标识所述第一模式片断和所述第二模式片断在另一布局中的出 现，并且其中仅所述减少的一组模式片断被存储；

对于所述减少的一组模式片断中的每个模式片断，

干扰模式片断以为组成几何形状组确定第一变更范围，在所 述第一变更范围中被干扰的模式片断不再导致制造热点，其中确 定所述第一变更范围包括标识表示所述组成几何形状组中的几 何形状的部分的变量的范围；

从第一变更范围提取校正指导描述组用于校正模式片断；以 及

在基于模式片断的热点数据库中存储模式片断以及校正指 导描述组。

2.根据权利要求1所述的方法，其中接收模式片断列表包括从 IC制造者接收模式片断列表。

3.根据权利要求1所述的方法，其中干扰模式片断以确定第一 变更范围包括干扰几何形状组中的每个几何形状以确定几何形状的 变更范围，其中被干扰的模式片断不再导致制造热点。

4.根据权利要求1所述的方法，其中当干扰模式片断时，所述 方法还包括：确定对于相关的几何形状组的第二变更范围，其中被 干扰的模式片断保持制造热点。

5.根据权利要求4所述的方法，其中干扰模式片断确定第二变 更范围包括：干扰几何形状组中的每个几何形状以确定几何形状的 变更范围，其中被干扰的模式片断保持制造热点。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括：

接收用于验证的布局；

通过对基于模式片断的热点数据库中每个存储的模式片断执行 模式匹配，识别布局中的一个或多个制造热点；

对于每个识别的热点，取回与基于模式片断的热点数据库中匹配 的模式片断相关的校正指导描述组；

使用校正指导描述组校正识别的热点。

7.根据权利要求6所述的方法，其中识别制造热点包括：识别 既与存储的模式片断相似又落在与存储的模式片断相关的第二变更 范围中的模式。

8.根据权利要求6所述的方法，其中识别制造热点包括使用范 围模式匹配RPM技术。

9.根据权利要求1所述的方法，其中从第一变更范围提取校正 指导描述组包括：

识别来自第一变更范围的几何形状组的变更的多个组合；

对每个识别的组合计算得分，其衡量对相应的制造热点的校正程 度；以及

组合变更的多个组合与相关的得分以获得校正指导描述组。

10.根据权利要求1所述的方法，其中当干扰模式片断以确定第 一变更范围时，所述方法还包括：

识别违反一组预定的设计规则的几何形状组的第三变更范围；以 及

从第一和第二变更范围排除第三变更范围。