[发明专利]阀门装置及电子元件的温度调节装置

权利要求书

1.一种阀门装置，作为调节用于调节被测试电子元件温度的复数种流体的流量的阀门装置，其特征在于，

包括复数个可以流通流体的流路和集合复数个流路的集合部，所述集合部的内部具有形成有第1槽的转换部件，所述转换部件通过使所述第1槽面向复数个所述流路中的至少两个流路，连通至少两个所述流路。

2.根据权利要求1所述的阀门装置，其特征在于，所述第1槽的开口幅度向着端部逐渐减少。

3.根据权利要求1或2所述的阀门装置，其特征在于，所述转换部件为所述集合部的内部设置的可以旋转的旋转部件。

4.根据权利要求3所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件为所述集合部的内部设置的可以旋转的轴，所述第1槽形成于所述轴的侧面。

5.根据权利要求3或4所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件上以所述旋转轴心为中心与所述第1槽对称的位置上形成有第2槽。

6.根据权利要求5所述的阀门装置，其特征在于，所述第2槽的开口幅度向着端部逐渐减少。

7.根据权利要求3～6任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件具有贯穿所述旋转部件的旁路。

8.根据权利要求7所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路呈放射状地集合于所述集合部，所述第1槽、所述第2槽及所述旁路实质上平行地设置。

9.根据权利要求3所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路包括第1流路、与所述第1流路邻接的第2流路和与所述第2流路邻接的第3流路，

所述旋转部件可以旋转到将所述第1槽面向所述第1流路和所述第2流路的第1旋转位置、将所述第1槽面向所述第1流路、所述第2流路和所述第3流路的第2旋转位置以及将所述第1槽面向所述第2流路和所述第3流路的第3旋转位置。

10.根据权利要求9所述的阀门装置，其特征在于，所述第1流路为冷媒流入的第1流入路，所述第2流路为流出冷媒或热媒至少一种的流出路，所述第3流路为热媒流入的的第2流入路。

11.根据权利要求10所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，在所述流出路混合所述第1流入路流入的冷媒和所述第2流入路流入的热媒。

12.根据权利要求10或11所述的阀门装置，其特征在于，所述第1槽的开口幅度，为了使从所述第1流入路和所述第2流入路流向所述流出路的流体的流量实质上一定，向着端部逐渐减少。

13.根据权利要求9～12任一项所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路还包括第4流路、与所述第4流路邻接的第5流路和与所述第5流路邻接的第6流路，

所述旋转部件上形成有第2槽，所述旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述第2槽面向所述第4流路和所述第5流路，所所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，所述第2槽面向所述第4流路、第5流路和所述第6流路，所述旋转部件位于所述第3旋转位置时，所述第2槽面向所述第5流路和所述第6流路。

14.根据权利要求13所述的阀门装置，其特征在于，所述第4流路为返回冷媒的第1返回路，所述第5流路为冷媒或热媒的至少一种流入的第3流入路，所述第6流路为返回热媒的第2返回路。

15.根据权利要求14所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，将所述第3流路流入的流体分配到所述第1返回路和所述第2返回路。

16.根据权利要求14或15所述的阀门装置，其特征在于，所述第2槽的开口幅度，为了使从所述第3流路流向所述第1返回路和所述第2返回路的流体的流量实质上一定，向着端部逐渐减少。

17.根据权利要求13～16任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件具有贯穿所述旋转部件的旁路，所述旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述旁路连通所述第3流路和所述第6流路，所述旋转部件位于所述第3旋转位置时，所述旁路连通所述第1流路和所述第4流路。

18.根据权利要求13～17任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述第1～6流路实质上等间距地连接于所述集合部。