[发明专利]多光束钻孔系统

权利要求书

1.一种于一基板中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：

操作一激光，以产生一单一输出光束，该单一输出光束的多个脉波具有一总能量；

以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束；以及

施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置，包含：

利用该多个光束中具有一脉波能量的相应光束，同时钻制多个孔的第一部分，该脉波能量是该总能量的一第一分率；以及

此后，利用该多个光束中分别具有一脉波能量的至少一个光束，钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分，该脉波能量是该总能量的至少一第二分率，该第二分率系不同于该第一分率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该第一分率是该多个孔的数量的一函数。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该第二分率是该多个孔的数量的一函数，而该多个孔具有钻制的该至少一第二部分。

4.一种于一基板中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：

操作一激光，以产生具有一总功率的一单一输出光束；

以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束；以及

施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置，包含：

利用该多个光束中具有一光束功率的相应光束，同时钻制多个孔的第一部分，该光束功率是该总功率的一第一分率；以及

此后，利用该多个光束中分别具有一光束功率的至少一光束，钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分，该光束功率是该总功率的至少一第二分率，该第二分率是不同于该第一分率。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，该第一分率是该多个孔的数量的一函数。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，该第二分率是该多个孔的数量的一函数，而该多个孔具有钻制的该至少一第二部分。

7.根据权利要求4-6中任一项所述的方法，其特征在于，该单一输出光束包含以一脉波重复率产生的多个具有单一光束脉波能量的脉波，且其中该多个光束中钻制多个孔的第一部分的所述这些光束包含具有该脉波重复率且脉波能量为所述这些单一光束脉波能量的该第一分率的脉波。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，该多个光束中钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分的该至少一光束包含具有该脉波重复率且脉波能量为所述这些单一光束脉波能量的至少该第二分率的脉波。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，该多个光束中钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分的该至少一光束包含具有该脉波重复率的一因子且脉波能量为所述这些单一光束脉波能量的一函数的脉波，其中该因子及该函数是因应该第二分率被选择。

10.根据权利要求4-6中任一项所述的方法，其特征在于，该单一输出光束包含以一脉波重复率所产生的多个具有单一光束脉波能量的脉波，且其中该多个光束中钻制多个孔的第一部分的所述这些光束包含具有该脉波重复率的一第一因子且脉波能量为所述这些单一光束脉波能量的一第一函数的脉波，该第一因子是因应该第一分率被选择。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该多个光束中钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分的该至少一光束包含具有该脉波重复率的一第二因子且脉波能量为所述这些单一光束脉波能量的一第二函数的脉波，该第二因子及该第二函数是因应该第二分率被选择。