[发明专利]多轴线性电动机及元件移载装置

权利要求书

1.一种多轴线性电动机，其特征在于：

包括多个单轴线性电动机，

所述单轴线性电动机包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，

各所述单轴线性电动机还包括：

定子，由所述磁体和所述电枢其中一者构成；

动子，由所述磁体和所述电枢其中另一者构成，能够相对于所述定子移动；

底板，具有规定所述移动方向的底面而且所述定子沿所述移动方向固定在该底面上，并且安装有与所述定子相对且沿所述移动方向能够往返移动的所述动子；

各所述单轴线性电动机作为一个其底板包含所述定子和所述动子的单位单元，以能够个别地分离的状态沿与所述底面正交的层叠方向被层叠设置。

2.根据权利要求1所述的多轴线性电动机，其特征在于：

各所述单轴线性电动机还包括可动部，

所述可动部沿所述移动方向能够相对往返移动地安装于所述底板，并且在与所述移动方向及所述层叠方向正交的宽度方向上，以所述动子与所述定子相对的状态担持该动子。

3.根据权利要求2所述的多轴线性电动机，其特征在于：

所述动子安装于所述可动部的所述宽度方向的一端的侧面。

4.根据权利要求2或3所述的多轴线性电动机，其特征在于：

各所述单轴线性电动机还包括立壁，

所述立壁设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口，

位于所述层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机的收纳空间，被在该下层侧单轴线性电动机的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机的所述底板的背面所覆盖。

5.根据权利要求2或3所述的多轴线性电动机，其特征在于：

各所述单轴线性电动机还包括立壁和盖部件，

所述立壁设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口，

所述盖部件安装于所述立壁的顶部，以覆盖所述收纳空间及所述收纳空间内所收纳的所述可动部、所述定子及所述动子的状态，将所述开口予以闭合。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

下层侧保持部件，设置于所述多个单轴线性电动机中位于所述层叠方向的最下层的最下层单轴线性电动机的下层侧；

上层侧保持部件，设置于位于所述层叠方向的最上层的最上层单轴线性电动机的上层侧；其中，

所述多个单轴线性电动机由所述下层侧保持部件及所述上层侧保持部件所夹持。

7.根据权利要求6所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

紧固件，沿所述层叠方向穿通各所述单轴线性电动机的所述底板、所述下层侧保持部件及所述上层侧保持部件，将各单轴线性电动机固定在一起。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

间距调整板，安装于所述各单轴线性电动机之间，使邻接的单轴线性电动机之间的间距沿所述层叠方向相应地扩张所定的厚度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

上层侧卡合部和下层侧卡合部，分别形成于所述多个单轴线性电动机层叠的层叠面的上层侧和下层侧而成对设置，并且分别具有在所述单轴线性电动机的层叠方向上彼此相对的凸凹，以在所述单轴线性电动机层叠时相卡合而使相邻的单轴线性电动机彼此相互定位。