[发明专利]多轴线性电动机及元件移载装置

说明书

技术领域

本发明涉及多轴线性电动机及元件移载装置，特别是涉及将多个使可动部直线移动的单轴线性电动机组合而成的多轴线性电动机、以及使用多轴线性电动机的元件移载装置。

背景技术

例如，在搬送电子元件等元件的元件移载装置、用于制造半导体装置、液晶显示装置等的制造装置等中，具备将用于吸附保持元件的吸嘴沿上下方向予以驱动的驱动机构，线性电动机作为该驱动机构的构成要素而被采用。所述线性电动机的需求年年扩大，特别是高性能的线性电动机的需求高。为了满足这样的需求，例如有适合于元件移载装置的线性电动机的方案(例如参照专利文献1)。

以往的线性电动机通常具有机室，该机室具有中空的长方体的形状，该长方体的壁厚具备充分的机械强度，该机室内设置有多个具有空心孔的环状线圈。这些线圈以各空心孔的中心轴沿长度方向的状态被层叠于机身，作为一个整体构成定子。另外，在机室的上下面上形成有比驱动用轴的直径稍大的通孔，以使驱动用轴可移动地进入。作为定子的各线圈以各空心孔与所述通孔同心的状态相对于该通孔被定位。于是，由永磁铁构成的作为动子的驱动用轴以与线圈同心地插入的状态插通在通孔以及线圈的空心孔中，并被定位。

然而，为了获得高性能的线性电动机，要求高精度地将驱动用轴(动子)与线圈(定子)进行对位。另外，不仅在组装性方面而且在维护性方面也有改善的要求。

但是，在先文献所记载的以往技术中，在进行驱动用轴与线圈的对位之前，必须将多个线圈与共同的机室进行对位。即，为了使应设于机室上侧面以及下侧面的多个通孔与机室内部应设置的多个线圈分别沿上下方向排成一列，必须在将通孔和线圈相对于机室的位置高精度地进行定位的情况下，分别地将线圈设于机室内部，将通孔设于机室的上侧面以及下侧面。此外，必须将多个驱动用轴在相对于机室予以定位的情况下分别插入通孔以及线圈的空心孔中。这样，必须将线圈以及驱动用轴相对于共同的机室予以对位来装入到线性电动机内，这种在保证对多个驱动用轴的相对位置精度的情况下进行组装的作业决非简单的作业，难以制造高性能的线性电动机。

专利文献1：日本专利公开公报特开2006-180645号(图5、图8)

发明内容

本发明的第1目的是提供组装性及维护性优异的高性能的线性电动机。

本发明的别的目的是提供使用所述线性电动机的元件移载装置。

为解决所述课题，本发明的多轴线性电动机包括多个单轴线性电动机，所述单轴线性电动机包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，各所述单轴线性电动机还包括：定子，由所述磁体和所述电枢其中一者构成；动子，由所述磁体和所述电枢其中另一者构成，能够相对于所述定子移动；底板，具有规定所述移动方向的底面而且所述定子沿所述移动方向固定在该底面上，并且安装有与所述定子相对且沿所述移动方向能够往返移动的所述动子；各所述单轴线性电动机作为一个其底板包含所述定子和所述动子的单位单元，以能够个别地分离的状态沿与所述底面正交的层叠方向被层叠设置。

该结构中，由磁体和电枢其中一者和另一者所构成的定子及动子设置在单轴线性电动机的底板上，该单轴线性电动机可作为可个别地分离的单位单元进行使用，因此，在多轴线性电动机的组装时以及维护时，无需分解定子与动子。因此，基于各个单轴线性电动机的组装精度，可确保多轴线性电动机的各可动部的相对位置精度。

此外，本发明中，由于是将多个单轴线性电动机层叠设置来构成多轴线性电动机，因此，通过变更单轴线性电动机的层叠数，可容易地变更多轴线性电动机中的可动部的个数，因此，本发明的通用性优异。另外，由于可对构成多轴线性电动机的单轴线性电动机一一地实施检查、修理等维护作业，因此，本发明在维护性方面也优异。

本发明的元件移载装置，是将所述多轴线性电动机用作头部组件的上下驱动机构的元件移载装置。

本发明的其他结构、作用效果，通过以下的附图以及所说明的实施方式进一步得以明确。

附图说明

图1是本发明一实施方式所涉及的单轴线性电动机的立体图。

图2是沿图1中Ⅱ-Ⅱ线的箭头方向剖视图。

图3是表示图1的实施方式所涉及的电枢与动子的设置关系的图。

图4是表示图1的实施方式所涉及的线性标尺与传感器的设置关系的图。

图5是图1的实施方式所涉及的单轴线性电动机的分解立体图。

图6是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的立体图。