[发明专利]压电器件

权利要求书

1.一种压电器件，其特征在于，包括：

压电基板；

在所述压电基板的一个主表面上形成的、含IDT电极的导电图案；

在所述压电基板的所述一个主表面上，围绕在形成有所述IDT电极的IDT形成区域的周围、且具有比所述IDT电极的厚度更大厚度的支撑层；以及

在所述支撑层之上配置的、覆盖所述IDT形成区域的覆盖层；

在所述支撑层中，至少在靠近所述IDT形成区域的区域的多个部位，形成部分地去除了与所述压电基板的所述一个主表面粘合的部分的去除部。

2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

所述去除部是以从形成在所述支撑层与所述IDT区域对置的内周表面上的开口向远离所述IDT形成区域的方向延伸的方式而形成的多个隙缝。

3.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

所述去除部是四周由所述支撑层包围的孔。

4.根据权利要求1、2或3所述的压电器件，其特征在于，

所述去除部贯通在支撑层与所述压电基板和所述覆盖层相连的两主表面之间。

5.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用感光性树脂来形成所述支撑层。

6.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用感光性聚酰亚胺类树脂来形成所述支撑层。

7.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用感光性硅酮树脂来形成所述支撑层。

8.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用感光性环氧类树脂来形成所述支撑层。

9.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用环氧类薄膜树脂来形成所述覆盖层。

10.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

使用聚酰亚胺类薄膜树脂来形成所述覆盖层。

11.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，还包括：

通过一并对所述支撑层和所述覆盖层进行激光加工而形成的通孔。

12.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，还包括：

通过一并对所述支撑层和所述覆盖层进行喷砂加工而形成的通孔。

13.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，还包括：

贯通所述支撑层及所述覆盖层的通孔；和

在所述通孔内通过电解电镀Au/Ni形成的下凸起金属。

14.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，包括选自以下组成的组中的2种以上：

使用感光性树脂、感光性聚酰亚胺类树脂、感光性硅酮类树脂、感光性环氧类树脂中的至少一种树脂形成的所述支撑层；

使用环氧类薄膜树脂、聚酰亚胺类薄膜树脂中的至少一种树脂形成的所述覆盖层；和

通过一并对所述支撑层和所述覆盖层进行激光加工或喷砂加工而形成的通孔。