[发明专利]加热的喷头组件

权利要求书

1.一种喷头，其包含：

喷头主体，其具有：环绕第二区域的第一区域，其中，所述第一区域具有：

第一气室，设置在所述主体的一第一侧；

一个或多个第二气室，设置在所述主体的第二侧；以及

复数个第一孔，配置在复数个第一环状图案中，所述复数个第一孔从所述第一气室延伸至所述一或多个第二气室；并且所述第二区域具有：

第三气室，设置在所述主体的第一侧；

一个或多个第四气室，设置在所述主体的第二侧；以及

复数个第二孔，配置在复数个第二环状图案中，所述复数个第二孔从所述第三气室延伸至所述一或多个第四气室。

2.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述喷头主体包含铝，并且其中，所述一或多个第二气室配置在复数个第三环状图案中，所述复数个第三环状图案与所述复数个第一环状图案相配，而所述一或多个第四气室配置成复数个第四环状图案，所述复数个第四环图案与所述复数个第二环状图案相配。

3.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述第一区域包含封闭在其内的第一加热元件，并且所述第二区域包含封闭在其内的第二加热元件。

4.一种喷头组件，其包含：

第一气体扩散板，具有第一侧、第二侧以及两个或多个区域，每一个区域具有从所述第一侧延伸通过所述第一气体扩散板至所述第二侧的复数个第一孔；以及

第二气体扩散板，具有第三侧、第四侧以及从所述第三侧延伸通过所述第二气体扩散板至所述第四侧的复数个第二孔，所述第二气体扩散板的第三侧与所述第一气体扩散板的第二侧耦接，且第二孔的数量超过第一孔的数量。

5.根据权利要求4所述的组件，其中，所述两个或多个区域的每一个区域皆具有一或多个加热线圈。

6.根据权利要求4所述的组件，其中，当从所述第一侧观看时所述第一孔配置在一或多个第一环状图案中，并且其中，所述每一个区域具有复数个环状图案。

7.根据权利要求4所述的组件，其中，当从所述第一侧观看时所述第一孔配置在一或多个第一环状图案中，其中，所述第一区域环绕该第二区域，并且其中，所述第二区域比该第一区域具有更多的环状图案。

8.根据权利要求4所述的组件，其中，当从所述第一侧观看时所述第一孔配置在一或多个第一环状图案中，其中，当从所述第四侧观看时，所述第二孔配置在一或多个第二环状图案中，并且其中，每一个第二环状图案中的第二孔的数量大于每一个第一环状图案中的第一孔的数量。

9.根据权利要求4所述的组件，其中，当从所述第一侧观看时所述第一孔配置在一或多个第一环状图案中，其中，当从所述第四侧观看时，所述第二孔配置在一或多个第二环状图案中，并且其中，当从所述第二表面观看时，所述第一孔具有与所述第二环状图案的宽度实质上相等的宽度。

10.根据权利要求4所述的组件，其中，所述第一气体扩散板包含铝，并且其中，所述第二气体扩散板包含碳化硅。

11.根据权利要求4所述的组件，其中，所述一或多个第一孔在所述第一侧上的直径小于所述一或多个第一孔在所述第二侧上的直径。

12.根据权利要求4所述的组件，其中，所述每一个区域内的孔从所述第一气体扩散板的第一侧上的环状气室延伸出，并且其中，所述每一个孔延伸至所述第一气体扩散板的第二侧上的环状气室。

13.一种喷头翻新方法，其包含：

将第一喷头主体从第二喷头主体拆下，所述第一喷头主体具有环绕第二区域的第一区域，其中，所述第一区域具有：

第一气室，设置在所述主体的第一侧；

一或多个第二气室，设置在所述主体的第二侧；以及

复数个第一孔，配置在复数个第一环状图案中，所述复数个第一孔从所述第一气室延伸至所述一或多个第二气室；并且所述第二区域具有：

第三气室，设置在所述主体的第一侧；

一或多个第四气室，设置在所述主体的第二侧；以及

复数个第二孔，配置在复数个第二环状图案中，所述复数个第二孔从所述第三气室延伸至所述一或多个第四气室；

清洁至少所述第一喷头主体；并且

接合所述第一喷头主体至第三喷头主体。