[发明专利]固体摄像装置以及包括其的X射线CT装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备二维配置的多个受光部的固体摄像装置、以及包括其的X射线CT装置。

背景技术

作为固体摄像装置，众所周知的有使用CMOS技术的固体摄像装置，其中尤以被动式像素传感器(PPS：Passive Pixel Sensor)方式的固体摄像装置最为人所知(参照专利文献1)。PPS方式的固体摄像装置具有包含产生与入射光强度相应的量的电荷的光电二极管的PPS型像素部二维排列成M行N列的结构。在各像素部中，对应于光入射而在光电二极管中产生电荷被存储在积分电路的电容元件中，并输出对应于该存储电荷量的电压值。

一般来说，属于各列的M个像素部各自的输出端经由对应于该列而设置的读取用配线，而与对应于该列而设置的积分电路的输入端连接。然后，在像素部的光电二极管产生的电荷自第1行至第M行为止依次经由对应的读取用配线而被输入至对应的积分电路，并从该积分电路输出与电荷量相应的电压值。

另外，属于各行的N个像素部分别经由对应于该行而设置的行选择用配线，而与控制部连接。根据从该控制部并经由行选择用配线传送的行选择控制信号，各像素部向读取用配线输出在光电二极管中产生的电荷。

PPS方式的固体摄像装置可用于各种用途，例如PPS方式的固体摄像装置与闪烁器面板组合而作为X射线平板并用于医疗用途以及工业用途。进而，具体来说，PPS方式的固体摄像用于X射线CT装置或微聚焦X射线检查装置等中。用于上述用途的固体摄像装置具备二维排列有M×N个像素部的大面积的受光部，该受光部可以在各边的长度超过10cm的大小的半导体基板上被集成化。因此，有时由1片半导体晶圆只能制造1个固体摄像装置。

专利文献1：日本特开2006-234557号公报

专利文献2：日本特开2001-027673号公报

发明内容

发明所要解决的问题

发明者们就现有的固体摄像装置进行讨论研究的结果，发现了以下的问题。即在现有的固体摄像装置中，在对应于任意的列的读取用配线在制造途中发生断线的情况下，属于该列的M个像素部中、位于相对于积分电路更靠近断线位置处的像素部，通过读取用配线而与积分电路连接，但是，位于相对于积分电路更远离断线位置处的像素部未与积分电路连接。

即在现有的固体摄像装置中，在位于相对于积分电路更远离断线位置处的像素部中，对应于光入射而在光电二极管中产生的电荷没有向积分电路读取，而是存储于该光电二极管的接合电容部中。

同样的，在对应于任意的行的行选择用配线在制造途中发生断线的情况下，属于该行的N个像素部中、位于相对于行选择部更靠近断线位置处的像素部，经由行选择用配线而与行选择部连接，但是，位于相对于行选择部更远离断线位置处的像素部未与行选择部连接。此时，在位于相对于行选择部更远离断线位置处的像素部中，对应于光入射而在光电二极管中产生的电荷没有向积分电路读取，而是存储于该光电二极管的接合电容部中。如果存储于光电二极管的接合电容部的电荷的量超过饱和电平，则超过饱和电平的部分的电荷向相邻的像素部溢出。

因此，在现有的固体摄像装置中，在1条读取用配线发生断线时，其影响不仅涉及到与该读取用配线连接的列的像素部，而且也涉及到相邻两边的列的像素部，其结果，对于连续的3列像素部产生缺陷线。同样的，在1条行选择用配线发生断线时，其影响不仅涉及到与该行选择用配线连接的行的像素部，而且也涉及到相邻两边的行的像素部，其结果，对于连续的3行像素部产生缺陷线。

另一方面，如果缺陷线不连续，1条缺陷线的相邻两边的线是正常线，则可以使用该相邻两边的正常线的各像素数据来对缺陷线的像素数据进行插补。但是，在对于连续的3行或者3列像素部产生缺陷线的情况下，难以进行上述那样的插补。特别是具有上述那样的大面积的受光部的固体摄像装置，由于读取用配线以及行选择用配线分别较长，因而产生断线的概率高。

在上述专利文献1中，提出有试图解决现有的固体摄像装置所具有的这样的问题的技术。在该现有技术中，求出位于缺陷线的相邻处的邻接线的全部像素数据的平均值，并且求出位于下一相邻处的正常的几条线的全部像素数据的平均值，如果该2个平均值的差为固定值以上，则判断邻接线也是缺陷的，并修正该邻接线的像素数据，进而，基于该邻接线的像素数据的修正后的值，来修正缺陷线的像素数据。