[发明专利]共振器及共振器阵列

权利要求书

1.一种共振器，其具有：

基材；

第一梁，所述第一梁的一端固定于所述基材，所述第一梁在中途部具有用于在垂直于所述第一梁长度方向的方向上施加直线往复运动的振动输入部位，以及

第二梁，所述第二梁从所述第一梁中不同于所述振动输入部位的第一分支部位向一方侧分支，所述第二梁用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。

2.如权利要求1所述的共振器，其中，

所述第一梁的另一端固定于所述基材。

3.如权利要求1或2所述的共振器，其中，

所述共振器具有用于产生扭转振动的第三梁，所述第三梁从所述第一分支部位向与所述第二梁相反的方向一侧延伸。

4.如权利要求1或2所述的共振器，其中，

所述共振器具有用于产生扭转振动的第三梁，所述第三梁从所述第一梁中既不同于所述振动输入部位也不同于所述第一分支部位的第二分支部位向与所述第二梁相反的方向一侧延伸。

5.一种共振器，其具有：

基材；

第一梁，所述第一梁的一端固定于所述基材，所述第一梁在中途部具有用于在垂直于所述第一梁长度方向的方向上施加直线往复运动的振动输入部位，以及

多个第二梁，所述多个第二梁从所述第一梁中不同于所述振动输入部位的多个分支部位分别向一方侧分支，所述多个第二梁用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。

6.如权利要求5所述的共振器，其中，

所述第一梁的另一端固定于所述基材。

7.如权利要求5或6所述的共振器，其中，

所述共振器具有用于产生扭转振动的多个第三梁，所述多个第三梁从所述多个分支部位向与所述多个第二梁相反的方向一侧延伸。

8.如权利要求7所述的共振器，其中，

所述多个第二梁的前端彼此由第四梁结合，所述多个第三梁的前端彼此由第五梁结合。

9.如权利要求8所述的共振器，其中，

所述第四梁以及所述第五梁各自的两端作为自由端突出。

10.如权利要求1所述的共振器，其中，

所述基材是基板，所述第一梁从所述基板离开并平行于所述基板的表面延伸。

11.如权利要求10所述的共振器，其中，

在所述基板的表面中与所述振动输入部位相对的位置配置有电极，所述电极是通过在所述电极和所述振动输入部位之间产生静电力而用来给所述第一梁施加直线往复运动的电极。

12.一种共振器阵列，其是按照如下形式连接多个共振器的共振器阵列，即将权利要求1所述的共振器中应固定于基材上的部位以及作为自由端的部位都置换成连接到相邻共振器上的连接部位。

13.一种共振器，其具有：

基材；

第一梁，所述第一梁的一端固定于所述基材，所述第一梁在中途部具有用于在垂直于所述第一梁长度方向的方向上施加直线往复运动的多个振动输入部位，以及

多个第二梁，所述多个第二梁从所述第一梁中不同于所述振动输入部位的多个分支部位分别向一方侧分支，所述多个第二梁用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。

14.如权利要求13所述的共振器，其中，

所述第一梁的另一端固定于所述基材。

15.如权利要求13或14所述的共振器，其中，

所述共振器具有用于产生扭转振动的多个第三梁，所述多个第三梁从所述多个分支部位向与所述多个第二梁相反的方向一侧延伸。

16.如权利要求15所述的共振器，其中，

所述多个第二梁的前端彼此由第四梁结合，所述多个第三梁的前端彼此由第五梁结合。

17.如权利要求16所述的共振器，其中，

所述第四梁以及所述第五梁各自的两端作为自由端突出。

18.如权利要求13所述的共振器，其中，

所述基材是基板，所述第一梁从所述基板离开并平行于所述基板的表面延伸。