[发明专利]共振器及共振器阵列

说明书

技术领域

本发明涉及一种共振器及共振器阵列。

背景技术

近年，开发出一种利用半导体领域中的微细加工技术，将细微的机械构造与电子电路形成一体的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术，并正在研究对滤波器、共振器的应用。

其中，通过这种MEMS技术制造的微机械共振器适合用于远程无键登记系统(remote keyless entry system)、波谱扩散通信等的RF无线。利用了通过这种MEMS技术制造的微机械共振器的MEMS滤波器的一个例子已经被日本特开2006-41911号公报(专利文献1)公开。在该文献记载的MEMS滤波器装置具备共振器。该共振器包含的振动部件是正方形板状部件，且与基板表面平行，并且离开基板配置，并由与基板表面连结的圆柱支承。通过给相对于共振器的各边隔开规定间隔相对而形成的固定电极施加交流电压，该振动部件与固定电极之间产生静电力，共振器振动。此时，振动部件的各边的中心和角水平振动。在共振器彼此由连结体连结的情况下，连结体传递纵向振动。

另外，使用与半导体工艺亲和性高的硅工艺的RF-MEMS滤波器已经在桥村昭范等的《使用扭转振动的RF-MEMS滤波器的开发》，信学技报，社团法人电子信息通信学会发行，IEICE Technical Report NW2005-185(2006-3)(非专利文献1)中提出。在该文献中，介绍了利用扭转振动模式的共振器对于兼顾小型化和高Q值化是有效的。

专利文献1：日本特开2006-41911号公报

非专利文献1：桥村昭范等，《使用扭转振动的RF-MEMS滤波器的开发》，信学技报，社团法人电子信息通信学会发行，IEICE Technical ReportNW2005-185(2006-3)

一般地说，在利用弯曲模式(mode)或伸长模式的共振器的情况下，为了提高共振频率，要求减小振动部件的全长或直径。在上述专利文献1公开的MEMS滤波器中，目标共振频率变得越高，需要制作一边越短的振动部件。因此，越想要尽量提高共振频率，越需要制作尽量细微的构造，由于细微加工技术存在限界，会出现制作变困难的问题。另外，在专利文献1所示的共振器中，无法得到足够高的Q值。

另外，在上述非专利文献1中，在由激光加热引起的膨胀的作用下，产生扭转振动，但由于需要激光元件，所以装置变得大型化。另外，由于通过加热引起的膨胀产生振动，所以动作不稳定。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种即使不极端缩小尺寸也能够容易提高共振频率，可以提高Q值的共振器。

为了达成上述目的，根据本发明的共振器包括基材、第一梁以及第二梁，所述第一梁的一端固定在所述基材上，所述第一梁在中途部具有用于在垂直于长度方向的方向上施加直线往复运动的振动输入部位，所述第二梁从所述第一梁中不同于所述振动输入部位的第一分支部位向一方侧分支，或者从所述第一梁中不同于所述振动输入部位的多个分支部位分别向一方侧分支，所述第二梁用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。

发明效果

根据本发明，在一个部位或者多个振动输入部位，通过给第一梁施加垂直于第一梁长度方向的方向上的直线往复运动，从而在第二梁上产生扭转振动。通过利用如此产生的扭转振动作为共振器的振动，即便不极端缩小共振器的尺寸也能够容易提高共振频率。另外，利用这种扭转振动的方式的共振器，可以做成Q值高的共振器。

附图说明

图1是基于本发明的实施方式1的共振器的第一例的概念图；

图2是基于本发明的实施方式1的共振器的第二例的概念图；

图3是基于本发明的实施方式2的共振器的第一例的概念图；

图4是基于本发明的实施方式2的共振器的第二例的概念图；

图5是基于本发明的实施方式3的共振器的第一例的概念图；

图6是基于本发明的实施方式3的共振器的第二例的概念图；

图7是基于本发明的实施方式4的共振器的概念图；

图8是基于本发明的实施方式5的共振器的第一例的概念图；

图9是基于本发明的实施方式5的共振器的第二例的概念图；

图10是基于本发明的实施方式6的共振器的第一例的概念图；

图11是图10所示的共振器的侧视图；

图12是基于本发明的实施方式6的共振器的第一例的概念图；

图13是图12所示的共振器的侧视图；

图14是基于本发明的实施方式7的共振器的立体图；