[发明专利]运作电子装置制造系统的方法与设备

权利要求书

1.一种电子装置制造系统，包括：

处理工。具；

处理工具控制器，其连接至所述处理工具，其中所述处理工具控制器用以控制所述处理工具；

第一次晶圆厂辅助系统，其连接至所述处理工具控制器；

其中所述第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；并且

其中所述处理工具控制器用以使所述第一次晶圆厂辅助系统从所述第一运作模式改变至所述第二运作模式。

2.如权利要求1所述的电子装置制造系统，其中所述处理工具控制器与所述第一次晶圆厂辅助系统之间的连接还包括次晶圆厂辅助系统控制器，其中所述次晶圆厂辅助控制器用以自所述处理工具控制器接收信号，并使所述第一次晶圆厂辅助系统自所述第一运作模式改变至所述第二运作模式。

3.如权利要求2所述的电子装置制造系统，还包括第二次晶圆厂辅助系统，其连接至所述次晶圆厂辅助系统控制器；

其中，所述第二次晶圆厂辅助系统用以在第三运作模式与第四运作模式中运作；并且

其中，所述次晶圆厂辅助系统控制器还用以使所述第二次晶圆厂辅助系统自所述第三运作模式改变运作模式至所述第四运作模式。

4.一种电子装置制造系统，包括：

处理工具；

处理工具控制器，其连接至所述处理工具，其中所述处理工具控制器用以控制所述处理工具；

次晶圆厂前端控制器，其连接至所述处理工具控制器；以及

第一次晶圆厂辅助系统，其连接至所述次晶圆厂前端控制器，其中所述第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；

其中，所述次晶圆厂前端控制器用以自所述处理工具控制器接收第一信号；并且

其中，所述次晶圆厂前端控制器用以使所述第一次晶圆厂辅助系统响应于所述第一信号的接收而自所述第一运作模式改变至所述第二运作模式。

5.如权利要求4所述的电子装置制造系统，还包括第二次晶圆厂辅助系统，其连接至所述次晶圆厂前端控制器，其中所述第二次晶圆厂辅助系统用以在第三运作模式与第四运作模式中运作；

其中，所述次晶圆厂前端控制器用以自所述处理工具控制器接收第二信号；并且

其中，所述次晶圆厂前端控制器用以使所述第二次晶圆厂辅助系统响应于所述第二信号的接收而自所述第三运作模式改变至所述第四运作模式。

6.如权利要求4所述的电子装置制造系统：

其中，所述次晶圆厂前端控制器与所述第一次晶圆厂辅助系统之间的连接还包括次晶圆厂辅助系统控制器，并且

其中，所述次晶圆厂辅助系统控制器用以自所述次晶圆厂前端控制器接收指令，并使所述第一次晶圆厂辅助系统响应于自所述次晶圆厂前端控制器对所述指令的接收而从所述第一运作模式改变运作模式至所述第二运作模式。

7.如权利要求6所述的电子装置制造系统，还包括第二次晶圆厂辅助系统，其连接至所述次晶圆厂辅助系统控制器；

其中，所述第二次晶圆厂辅助系统用以在第三运作模式与第四运作模式中运作；并且

其中，所述次晶圆厂辅助系统控制器还用以自所述次晶圆厂前端控制器接收第二指令，并使所述第二次晶圆厂辅助系统响应于所述第二指令的接收而自所述第三运作模式改变运作模式至所述第四运作模式。

8.一种用于运作电子装置制造系统的方法，包括以下步骤：

利用处理工具控制器来控制处理工具；

于第一模式中运作次晶圆厂辅助系统；并且

响应于所述次晶圆厂辅助系统自所述处理工具控制器接收的指令，于第二模式中运作所述次晶圆厂辅助系统。

9.一种用于运作电子装置制造系统的方法，包括以下步骤：

利用处理工具控制器来控制处理工具；

利用次晶圆厂辅助系统控制器来控制第一次晶圆厂辅助系统；

于第模式中运作所述第一次晶圆厂辅助系统；

从所述处理工具控制器发送第一信号至所述次晶圆厂辅助系统控制器；并且

响应于所述第一信号，于第二模式中运作所述第一次晶圆厂辅助系统。

10.如权利要求9所述的方法，还包括以下步骤：

利用所述次晶圆厂辅助系统控制器来控制第二次晶圆厂辅助系统；并且

于第三模式中运作所述第二次晶圆厂辅助系统。