[发明专利]由对排出物进行有效消减的减排系统采用的供应燃料的设备和方法

说明书

技术领域

本发明一般相关于电子装置制造减排系统，尤其是藉由该减排系统供应燃料以减排排出物。

背景技术

传统电子装置制造减排系统对排出物进行消减，以减少排出物的毒性、易燃性或其它不良特性。该排出物可能通过电子装置制造设备(如，显示平板、半导体、太阳能等)所制造。一些传统减排系统可在燃烧区对排出物进行消减处理，该燃烧区燃烧燃料以提供对排出物进行消减所需的热量。

传统的减排系统通常可使用一个以上的喷嘴来将燃料喷洒至燃烧区内，而且往往这种传统减排系统可能不具有均匀的燃烧区或区域。不均匀的燃烧区可能不足以消减排出物，这可能会导致减排单元排出不期望的化合物。

因此，需要用以改善减排系统的燃烧区或区域的均匀性的方法和设备。

发明内容

一方面，提供了一种设备，用于将燃料引入电子装置制造排出物减排工具，包括：歧管；燃料源，其适于将燃料通过燃料管道供应至所述歧管；和多个喷嘴，其适于从所述歧管接收燃料；其中，所述歧管适于将燃料以高于火焰速度的燃料速度供应至所述喷嘴。

另一方面，提供了一种方法，用于操作电子装置制造减排系统，包括以下步骤：使燃料从燃料供应器通过燃料管道流入歧管；和使所述燃料从所述歧管流经多个喷嘴；其中，所述歧管适于使燃料以高于火焰速度的燃料速度流至所述喷嘴。

可藉由本发明以下详细说明、所附权利要求、以及附图来明白本发明的其它特征和方面。

附图说明

图1描绘了根据本发明的减排系统的实施例的示意性侧视图。

图1B描绘了根据本发明的燃料歧管头的实施例的仰视图。

图1C描绘了根据本发明的排出物入口/燃料喷嘴簇的实施例的仰视图。

图2描绘了根据本发明的燃料歧管的实施例的侧剖视图。

图3描绘了根据本发明的燃料歧管的实施例内燃料管的立体图。

图4是描述了操作本发明的电子装置制造减排系统的方法的流程图。

具体实施方式

如上所述，传统的燃料燃烧减排系统可能有多个喷嘴，以将燃料或燃料/氧化剂混合物供应至燃烧区。为便于说明，这些喷嘴在下文中称作“喷嘴”或“燃料喷嘴”，但请注意它们可以让燃料/氧化剂混合物流过，或者只让燃料流过。传统减排系统的燃料喷嘴往往使燃料不均匀地流动，因此使燃烧区的温度分布不均匀。例如，一个喷嘴可能以比其它燃料喷嘴高或低的压力来喷洒燃料。压力上的差异可能导致喷流型式不同于其它喷嘴的喷流型式。压力的差异也可能导致从一个喷嘴喷洒出的燃料量不同于从其它喷嘴喷洒出的燃料量。从不同喷嘴喷洒出的不同喷流型式或不同燃料量可能导致燃烧区的不均匀温度分布。

在传统减排单元中，对于以不同方式将燃料供应至数个燃料喷嘴存在几个原因。例如，通常通过供应管路、管道或管线，将燃料供应给喷嘴。这些供应线路可能有不同的长度、构造、截面形状、内部光滑度、并可能有其它差异。此外，传统的燃料燃烧减排系统通常在每个燃料管线上采用逆燃阻止器。通过防止火焰前缘从燃烧区通过喷嘴返回至燃料管线或燃料源，这种逆燃阻止器可以防止位于逆燃阻止器上游的燃料被点燃。每个逆燃阻止器可能彼此略有不同，且在每个燃料管配有逆燃阻止器可能使燃料不均匀地分配至燃烧区。因此，因为上述和其他的理由，燃烧区可能不具有均匀温度分布。

由于这种非均匀燃烧，有些排出物可能从燃烧区散逸而未被消减。例如，燃烧区温度分布可能具有在燃烧区的一侧形成较冷区的形状。在燃烧区中较热部分的排出物的化学物可被有效地消减，而在燃烧区中较冷部分的排出物的化学物则无法被有效地消减。因此，在不均匀燃烧的减排单元中，一些未被消减的化学物可能离开燃烧区，并进入排放设施。

因此，有必要在电子装置制造排出物减排系统的燃烧区中提供更均匀的温度分布。

本发明提供的方法和设备系用以平衡流入多个将燃料喷洒至减排系统的燃烧区内的燃料喷嘴的燃料流量和燃料压力。藉由平衡化，意在即使这样做并没有使两燃料流率和/或两燃料压力真正变成平等，但也减少了在两燃料流率和/或两燃料压力间的差异。因此，利用本发明，减排工具可实现燃烧区中更加均匀的温度分布。来自各个喷嘴的燃料流的几个方面可被平衡。举例来说，可平衡从各个喷嘴喷出的燃料的压力和/或流率。附加地或可选地，可平衡从各个喷嘴喷出的燃料流的喷流分布和/或型式。可平衡从各个喷嘴喷出的燃料流的其它参数，以达成更均匀的燃烧区。