[发明专利]电子元件检查方法及该方法所使用的装置

权利要求书

1.一种电子元件检查方法，该检查方法依次重复下述工序：

将电子元件载置在检查用的载物台上；

使具有显微镜功能和图像数据输出功能的摄像单元移动至并定位在用于对上述电子元件的规定部位进行拍摄的适当位置；

使上述摄像单元的具有显微镜功能的物镜朝向上述电子元件的规定部位进退而定位于适当的焦距处地进行对焦；

利用对焦后的摄像单元对上述电子元件的规定部位进行摄像，将该图像数据输入到信息处理单元来检查该拍摄部位的好坏，其特征在于，

上述对焦通过如下动作进行：一边改变上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L一边拍摄图像，基于该图像数据，在上述信息处理单元中排查确定出最佳焦距，重复改变上述距离L和进行拍摄直到确定出最佳焦距；

在初次对载置在载物台上的电子元件进行对焦时，将上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L首先设定为预先设定的规定距离，重复改变该距离和进行拍摄直到确定出最佳焦距，并且将该确定的最佳焦距存储到上述信息处理单元中；

在下次以后对载置在载物台上的电子元件进行对焦时，在上述信息处理单元中，基于上次以前存储的最佳焦距导出最佳焦距的预测值，将上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L首先设定为上述预测最佳焦距，重复改变该距离和进行拍摄直到确定出最佳焦距，并且将该确定的最佳焦距存储到上述信息处理单元中。

2.根据权利要求1所述的电子元件检查方法，其特征在于，

使上述摄像单元相对于载物台表面沿X方向和Y方向中的至少一个方向自由移动地安装该摄像单元，使上述摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄。

3.根据权利要求2所述的电子元件检查方法，其特征在于，

作为上述摄像单元，设置能够相对于载物台表面沿X方向移动的第1摄像单元和能够相对于载物台表面沿Y方向移动的第2摄像单元，使上述第1摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件沿X方向移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄，同时，使上述第2摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件沿Y方向移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄。

4.一种电子元件检查装置，是权利要求1所述的电子元件检查方法所采用的装置，其特征在于，

该装置具有：载物台，其用于载置电子元件；摄像单元，其被设定为每次检查时进行移动至并被定位在用于对载置在上述载物台上的电子元件的规定部位进行拍摄的适当位置；信息处理单元，其被设定为根据由上述摄像单元得到的图像数据检查其拍摄的部位的好坏；在上述摄像单元上设置有：显微镜部，其被设定为使物镜朝向拍摄对象自由进退地移动；图像数据输出部，其用于向上述信息处理单元输出由上述显微镜部拍摄的放大图像；

上述显微镜部中的对焦通过如下动作进行：一边改变上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L一边拍摄图像，根据该图像数据，在上述信息处理单元中排查确定出最佳焦距，重复改变上述距离L和进行拍摄直到确定出最佳焦距；

初次对载置在载物台上的电子元件的对焦通过将上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L首先设定为预先设定的规定距离、重复改变该距离和进行拍摄直到确定出最佳焦距来进行，并且将该确定的最佳焦距存储到上述信息处理单元中；

下次以后对载置在载物台上的电子元件的对焦通过在上述信息处理单元中根据上次以前存储的最佳焦距导出最佳焦距的预测值、将上述物镜和电子元件的规定部位之间的距离L首先设定为上述预测最佳焦距、重复改变该距离和进行拍摄直到确定出最佳焦距来进行，并且将该确定的最佳焦距存储到上述信息处理单元中。

5.根据权利要求4所述的电子元件检查装置，其特征在于，

使上述摄像单元能相对于载物台表面沿X方向和Y方向中的至少一个方向自由移动地安装该摄像单元，使上述摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄。

6.根据权利要求5所述的电子元件检查装置，其特征在于，

作为上述摄像单元，设有能够相对于载物台表面沿X方向移动的第1摄像单元和能够相对于载物台表面沿Y方向移动的第2摄像单元，使上述第1摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件沿X方向移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄，同时，使上述第2摄像单元一边相对于载置在载物台上的一个或多个电子元件沿Y方向移动，一边在多个不同的位置处依次进行对焦和拍摄。