[发明专利]用于超薄基板以及封装上封装组件的倒装片组件工艺无效
申请号: | 200980110789.3 | 申请日: | 2009-06-26 |
公开(公告)号: | CN101981680A | 公开(公告)日: | 2011-02-23 |
发明(设计)人: | W·K·蒙;A·V·拉奇;B·S·林;M·L·陆;K·E·翁;S·F·林;T·W·翁 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/48;H01L23/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;王英 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 超薄 以及 装上 封装 组件 倒装 工艺 | ||
1.一种方法,包括:
接收无芯基板条;
将焊球附接到所述无芯基板条的背侧;以及
在所述焊球之间形成背侧硬化模。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述焊球之间形成背侧硬化模包括:
分配液体模制化合物;以及
将所述液体模制化合物压缩到所述焊球的高度以下。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述无芯基板条包括第3代直接激光层压(DLL3)条。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括将集成电路器件附接到所述无芯基板条的顶侧。
5.根据权利要求4所述的方法,还包括将第二集成电路器件封装附接到所述无芯基板条的所述顶侧。
6.一种方法,包括:
接收第3代直接激光层压(DLL3)基板条;
将焊球附接到所述DLL3基板条的背侧;以及
在所述焊球之间形成背侧硬化模。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,所述DLL3基板条包括大约200微米的厚度。
8.根据权利要求6所述的方法,其中,所述背侧硬化模包括大约200微米的厚度。
9.根据权利要求6所述的方法,其中,在所述焊球之间形成背侧硬化模包括:
分配液体模制化合物;以及
将所述液体模制化合物压缩到所述焊球的高度以下。
10.根据权利要求6所述的方法,还包括将集成电路器件附接到所述无芯基板条的顶侧。
11.根据权利要求10所述的方法,还包括将第二集成电路器件封装附接到所述无芯基板条的所述顶侧。
12.一种装置,包括:
无芯基板条;
附接到所述无芯基板条的背侧的多个焊球;以及
所述焊球之间的背侧硬化模。
13.根据权利要求12所述的装置,其中,所述背侧硬化模包括大约200微米的高度。
14.根据权利要求12所述的装置,其中,所述无芯基板条包括大约200微米的高度。
15.根据权利要求14所述的装置,还包括附接到所述无芯基板条的顶侧的集成电路器件。
16.一种装置,包括:
第3代直接激光层压(DLL3)基板条;
附接到所述DLL3基板条的背侧的多个焊球;
所述焊球之间的背侧硬化模;以及
附接到所述DLL3基板条的顶侧的集成电路器件。
17.根据权利要求16所述的装置,其中,所述背侧硬化模包括大约200微米的高度。
18.根据权利要求16所述的装置,其中,所述DLL3基板条包括大约200微米的高度。
19.根据权利要求16所述的装置,其中,所述焊球包括大约10密耳的直径。
20.根据权利要求16所述的装置,还包括附接到所述DLL3基板条的所述顶侧的第二集成电路器件封装。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造