[发明专利]含有钌和碱土金属的三元氧化物膜的沉积

权利要求书

1.一种在一个或多个基板上形成三元氧化物膜的方法，其包括：

a)提供至少一个置于反应器中的基板；

b)将呈蒸气形式的钌前体引入所述反应器中，其中所述钌前体包括四氧化钌或具有如下通式的含钌前体：

(L)_mRu(L′)_n

且其中：

-L为不饱和的、环状或直链η⁴-η⁶型烃配体；

-L′为独立地选自如下的直链或支链配体：羰基、碳烯、脒基、β-二酮基、烷基、烷氧基、氢、烷基氨基、卤素、二酮亚胺、烯胺酮、二氮杂丁二烯、乙胺和甲脒；

-0≤n或m≤3；

c)将呈蒸气形式的碱土金属前体引入所述反应器中，其中所述碱土金属前体包括具有如下通式的含碱土金属前体：

A(R_xCp)₂R′_y

且其中：

-A为钙、锶或钡；

-R为独立地选自如下的直链或支链配体：C1-C4烷基、烷氧基、甲硅烷基和卤素；

-R′为含有N、P或O的直链或环状烃配体；

-0≤x≤5；且

-0≤y≤2；

d)在至少一个基板上沉积所述钌前体和所述碱土金属前体的至少一部分以形成三元氧化物膜。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述L配体包括选自如下的取代或未取代的配体：丁二烯、丁二烯基、环戊二烯、环戊二烯基、戊二烯、戊二烯基、己二烯、己二烯基、环己二烯、环己二烯基、庚二烯、庚二烯基、降冰片二烯、辛二烯、环辛二烯和环辛二烯基。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述R′配体包括选自如下的配体：四氢呋喃、二烷、二甲氧基乙烷、二甲氧基乙烷和吡啶。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述碱土金属前体具有低于约100℃的熔点。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述碱土金属前体在约25℃下为液体。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述钌前体包括选自如下的至少一种：四氧化钌、钌(环戊二烯基)₂、钌(甲基环戊二烯基)₂、钌(乙基环戊二烯基)₂、钌(异丙基环戊二烯基)₂、钌(CO)₃(1-甲基-1，4-环己二烯)、钌(2，6，6-三甲基环己二烯基)₂、钌(二甲基戊二烯基)₂、(环戊二烯基)钌(二甲基戊二烯基)、(乙基环戊二烯基)钌(二甲基戊二烯基)、钌(甲苯)(1，4-环己二烯)、(环戊二烯基)钌(脒基)和钌(CpMe₅)(iPr-胺化物)。