[发明专利]基板的异常载置状态的检测方法、基板处理方法、计算机可读取的存储介质以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板的异常载置状态的检测方法，对在设有加热器的基板载置台上载置的基板加热的同时进行处理时，检测该基板的载置状态的异常，其特征在于，包括：

在处理一张基板的期间，根据向上述加热器供给的电力输出的信息或上述基板载置台的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值、或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和

根据检测出的上述最大值及上述最小值、或检测出的上述累计值判定上述基板的异常载置状态的工序。

2.如权利要求1所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，还包括求出上述最大值与上述最小值之差的工序，

上述进行检测的工序包括检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值的步骤，

上述进行判定的工序包括通过将上述差与预定的阈值比较而判定上述基板的异常载置状态的步骤。

3.如权利要求1所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，还包括：

求出上述最大值与上述最小值之差的工序；和

利用上述差与在前一张基板的处理中求出的电力输出或计测温度的最大值及最小值之差来进行运算处理而求出运算结果的工序，

上述进行检测的工序包括检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值的步骤，

上述进行判定的工序包括通过将上述运算结果与预定的阈值比较而判定上述基板的异常载置状态的步骤。

4.如权利要求1所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，

上述进行检测的工序包括检测上述电力输出或上述计测温度的累计值的步骤，

上述进行判定的工序包括通过将上述累计值与预定的阈值比较而判定上述基板的异常载置状态的步骤。

5.如权利要求1所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，还包括利用上述累计值与在前一张基板的处理中检测出的累计值进行运算处理而求出运算结果的工序，

上述进行检测的工序包括检测上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序，

上述进行判定的工序包括通过将上述运算结果与预定的阈值比较而判定上述基板的异常载置状态的情况。

6.如权利要求5所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，设上述累计值为A₁，在前一张基板的处理中检测出的上述累计值为A₀时，上述运算结果由A₁与A₀之比构成。

7.如权利要求5所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，在设上述累计值为A₁、前一张基板的处理中检测出的上述累计值为A₀时，上述运算结果由A₁与A₀之差构成。

8.如权利要求1所述的基板的异常载置状态的检测方法，其特征在于，上述进行检测的工序包括检测上述电力输出的最大值及最小值、或上述电力输出的累计值的工序，

向上述加热器供给的电力输出为向加热器供给的供给电力、供给电流或供给电压中任一个以上。

9.一种基板处理方法，其特征在于，包括：

在设有加热器的基板载置台上载置基板的工序；

对上述基板加热的同时进行处理的工序；和

检测被处理的上述基板的载置状态的异常的工序，

检测上述异常的工序，包括：

在处理一张基板的期间，根据向上述加热器供给的电力输出的信息或上述基板载置台的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值、或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和

根据检测出的上述最大值及上述最小值、或检测出的上述累计值来判定上述基板的异常载置状态的工序。

10.一种计算机能读取的存储介质，存储有在计算机上工作的控制程序，其特征在于，

上述控制程序在对在设有加热器的基板载置台上载置的基板加热的同时进行处理时，使上述计算机执行如下的工序：

在处理一张基板的期间，根据向上述加热器供给的电力输出的信息或上述基板载置台的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值、或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和

根据检测出的上述最大值及上述最小值或检测出的上述累计值来判定上述基板的异常载置状态的工序。

11.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

载置基板的基板载置台；

加热器，设在上述基板载置台上，对在该基板载置台上载置的基板进行加热；

加热器电源，与上述加热器电连接；

温度计测部，计测上述基板载置台的温度；

存储部，存储向上述加热器供给的电力输出或上述基板载置台的计测温度；和

判定部，检测向上述加热器供给的电力输出的最大值与最小值之差或向该加热器供给的电力输出的累计值、上述基板载置台的计测温度的最大值与最小值之差或该基板载置台的计测温度的累计值，根据上述差或累计值，判定上述基板的异常载置状态。