[发明专利]支架载置台无效

专利信息
申请号: 200980114297.1 申请日: 2009-04-30
公开(公告)号: CN102016697A 公开(公告)日: 2011-04-13
发明(设计)人: 许官善 申请(专利权)人: 泰拉半导体株式会社
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 陈英俊
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 支架 载置台
【权利要求书】:

1.一种支架载置台,用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板,其特征在于,包括:

对准部,其同时排列上述支架和上述玻璃基板;以及

对准旋转部,其旋转上述对准部。

2.如权利要求1所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准旋转部包括:

对准旋转轴,上述对准部设置在该对准旋转轴上;以及

对准致动器,其旋转上述对准旋转轴。

3.如权利要求1所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准部包括:

支架对准部,其排列上述支架;以及

玻璃对准部,其排列上述玻璃基板。

4.如权利要求3所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准部设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。

5.如权利要求3所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部。

6.如权利要求3所述的支架载置台,其特征在于,

上述支架对准部包括:

第一对准托架,其一端固定在上述对准旋转轴上;以及

支架对准帽,其设置在上述第一对准托架上。

7.如权利要求6所述的支架载置台,其特征在于,

上述玻璃对准部包括:

第二对准托架,其固定在上述第一对准托架上;以及

玻璃对准帽,其设置在上述第二对准托架上。

8.一种支架载置台,用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板,其特征在于,包括:

对准部,其排列上述支架或上述玻璃基板;以及

对准旋转部,其旋转上述对准部。

9.如权利要求8所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准旋转部包括:

对准旋转轴,上述对准部设置在该对准旋转轴上;以及

对准致动器,其旋转上述对准旋转轴。

10.如权利要求8所述的支架载置台,其特征在于,

上述对准部是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对准部中的任一个。

11.如权利要求10所述的支架载置台,其特征在于,

上述支架对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部,上述玻璃对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的其余两个角部。

12.如权利要求10所述的支架载置台,其特征在于,

上述支架对准部包括:

第一对准托架,其一端固定在上述对准旋转轴上;以及

支架对准帽,其设置在上述第一对准托架上。

13.如权利要求10所述的支架载置台,其特征在于,

上述玻璃对准部包括:

第二对准托架,其一端固定在上述对准旋转轴上;以及

玻璃对准帽,其设置在上述第二对准托架上。

14.如权利要求1或8所述的支架载置台,其特征在于,

上述支架的材质为石墨。

15.如权利要求14所述的支架载置台,其特征在于,

在上述支架的表面涂覆有碳化硅。

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