[发明专利]支架载置台

说明书

技术领域

本发明涉及一种支架载置台，特别涉及在负责平板显示器的制造工序中的蒸镀工序或退火工序的基板处理系统中，排列玻璃基板及/或支架的位置，以便能够将玻璃基板以排列安装在支架上的状态加载到基板装载盘上的支架载置台。

背景技术

使用于平板显示器制造的基板处理系统大致分为蒸镀装置和退火装置。

蒸镀装置是负责形成构成平板显示器核心结构的透明导电层、绝缘层、金属层或者硅层的工序的装置。作为蒸镀装置有像LPCVD(low pressure chemical vapor deposition：低压化学气相沉积)、PECVD((plasma enhanced chemical vapor deposition：等离子体增强化学气相沉积)等这样的化学气相蒸镀装置和像溅射装置(sputtering)这样的物理气相蒸镀装置。另外，退火装置是负责为了蒸镀工序之后的结晶化、相变化等而伴随的热处理工序的装置。

通常，为了执行如上所述的蒸镀工序和退火工序，需要经过将玻璃基板以安装在支架上的状态加载到提供基板处理空间的处理腔室内的过程。

最近，为了提高基板处理的生产率，使用同时处理多个玻璃基板的批处理式基板处理系统的情况逐渐在增加。在批处理式基板处理系统中，以多个玻璃基板分别安装在各个支架上而被加载到基板装载盘的状态，将基板装载到处理腔室内进行基板处理。因此，通过批处理式基板处理系统执行基板处理的时候，需要经过将安装在支架上的玻璃基板从支架载置台输送到基板装载盘的过程。

另一方面，为了使玻璃基板和支架被加载到基板装载盘(substrate boat)的规定位置，需要使玻璃基板和支架排列并加载在支架载置台上的规定位置。如果不这样，则在输送过程中玻璃基板和支架同支架载置台及/或基板装载盘碰撞而导致玻璃基板和支架受到损伤，或者发生玻璃基板和支架从传输臂上掉下的事故等，引起传输过程不顺利的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术问题而做出的，其目的在于提供一种支架载置台，能够将所加载的玻璃基板及/或支架正确地排列到规定位置，从而能够为了基板处理而将玻璃基板和支架顺利地输送至基板装载盘。

为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其包括：对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及对准旋转部，其旋转上述对准部。

上述对准旋转部可以包括：对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。上述对准部可以包括：支架对准部，其排列上述支架；以及玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。

上述对准部可以设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。

上述对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部。

上述支架对准部可以包括：第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。

上述玻璃对准部可以包括：第二对准托架，其固定在上述第一对准托架上；以及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。

另外，为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其包括：对准部，其排列上述支架或上述玻璃基板；以及对准旋转部，其旋转上述对准部。

上述对准旋转部可以包括：对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。

上述对准部可以是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对准部中的任一个。

上述支架对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部，上述玻璃对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的其余两个角部上。

上述支架对准部可以包括：第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。

上述玻璃对准部可以包括：第二对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。

上述支架材质可以为石墨。

可以在上述支架的表面上涂覆有碳化硅。

根据如上构成的本发明，将加载在支架载置台上的玻璃基板及/或支架正确地排列到规定位置，因此，具有使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的过程变得顺利的效果。

另外，根据本发明，使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的过程变得顺利，从而具有提高基板处理的生产率且降低基板处理成本的效果。

附图说明